技術參數(shù)：
 
1. 線性：0.5ppm .
2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
5. 范圍：800角秒
6. 滾動角：1.0角秒
7. 直線度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
8. 直線度范圍：500um
9. 垂直度：1角秒
10. 溫度：0.2攝氏度
11.濕度：5%
12.壓力：1mmHg

主要特點：

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角；
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器；
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米；
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性；
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架；
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間。