所屬科學技術(shù)領域:半導體分立器件測試
適用范圍:
BC3193分立器件參數(shù)測試系統(tǒng)的測試對象是各種半導體分立器件(二管、整流橋、三管、場效應管、可控硅、IGBT、光電耦合器和達林頓矩陣等)。系統(tǒng)可用于上述器件生產(chǎn)過程中的半導體圓片測試,成品測試,出廠檢驗;整機廠家的器件入廠檢驗和質(zhì)量控制。
主要研究內(nèi)容:
1) 系統(tǒng)接口;
2) 電壓/電流源(VIS);
3) 高壓源(HVS);
4) 測量板;
5) 測試臺矩陣板;
6) 系統(tǒng)電源;
7) 系統(tǒng)電源控制板;
8) 各種適配器。
技術(shù)點:
1、該測試系統(tǒng)的特點在于具有±1500V的高電壓和20A大電流的輸出能力;6.1pA的小電流測量分辨率;同時次采用了軟件實時補償方法來測試系統(tǒng)的;系統(tǒng)中使用的反饋技術(shù)使高壓擊穿參數(shù)測試穩(wěn)定。
2、BC3193測試系統(tǒng),測試程序開發(fā)簡單, 用戶方便易學。系統(tǒng)中通用儀器接口和相應的自檢、校準軟件,使用戶可以方便地校準系統(tǒng)參數(shù),跟蹤計量標準。 對科學技術(shù)進步的推動作用: 該產(chǎn)品產(chǎn)生了近200萬元銷售收入,社會效益顯著,填補了國內(nèi)半導體分立器件自動測試系統(tǒng)的空白,在軍事科研、航空、兵器等工業(yè)部門使用,可以替代國外同類產(chǎn)品,產(chǎn)生了較好的社會效益和經(jīng)濟效益。
測試系統(tǒng)用途及主要測試對象
測試系統(tǒng)可對半導體分立器件進行測試,可測試的器件類型和參數(shù)項如下:
二管:BVR、IR、VF、VZ、RZ
三管: BVCBO、BVCEO、BVC、BVCER、BVEBO、HFE、ICBO、ICBS、ICEO、 IC、ICER、IEBO、VBEF、VBCF、VBAT、VCAT
可控硅:BVGKO、IAKF、IAKR、IGKO、IGT、IH、IL、VGT、VON
場效應管: BVDSO、BVDSS、BVDSR、BVDGO、BVGDS、BVGSO、BVGSS、GFS、IDSO、IDSS、IDSR、IG、IGDO、IGSO、IGSS、RDS(on)、VDS(on)、VGS、VGS(th)、VP
IGBT:BVC、BVCGR、BVG、IC、IG、VCAT、VGETH、VGS(off)
光耦:R、BVECO、Tr、Tf、Toff、BVCBO、BVCEO、ICBO、ICEO、HFE、VBAT、VCAT、IR、IAKF、IAKR
達林頓矩陣:ICEX、 IIN(ON)、 IIN(Off)、 VIN(on)、 IR、VCAT、BVR、HFE、ICEO
單結(jié)晶體管:Iv、Vv、IP、VP、VEB1、ETA、RBB、IEB1O、IB2
光敏二、三管:ID、IL、VOC、ISC、BV、BVCE
固態(tài)繼電器:IFoff 、IFon、IR、Ioff 、Ion、RON 、Toff 、Ton、VF 、VR、Von
測試系統(tǒng)可對器件測試結(jié)果進行存儲和打印。
測試原理合相應的標準、標準。
測試系統(tǒng)技術(shù)指標
1. 電流/電壓源 VIS
1). 加壓(FV)
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±20V(±30V可選) | 610uV | ±0.1% 設定值±2mV |
±10V | 305uV | ±0.1% 設定值±2mV |
±2V | 61uV | ±0.1% 設定值±2mV |
2).加流(FI):
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±20A(±40A可選) | 610uA | ±0.5% 設定值±50mA |
±2A | 61uA | ±0.2% 設定值±5mA |
±200mA | 6.1uA | ±0.1% 設定值±500uA |
±20mA | 610nA | ±0.1% 設定值±50uA |
±2mA | 61nA | ±0.1% 設定值±5uA |
±200uA | 6.1nA | ±0.1% 設定值±500nA |
±20uA | 610pA | ±0.2% 設定值±50nA |
±2uA | 61pA | ±0.5% 設定值±5nA |
2. 數(shù)據(jù)采集 VM
16位ADC,100K/S采樣速率。
1). 電流測量(MI)
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±10A | 305uA | ±0.5% 讀數(shù)值±20mA |
±2A | 61uA | ±0.2% 讀數(shù)值±5mA |
±200mA | 6.1uA | ±0.1% 讀數(shù)值±500uA |
±20mA | 610nA | ±0.1% 讀數(shù)值±50uA |
±2mA | 61nA | ±0.1% 讀數(shù)值±5uA |
±200uA | 6.1nA | ±0.1% 讀數(shù)值±500nA |
±20uA | 610pA | ±0.1% 讀數(shù)值±50nA |
±2uA | 61pA | ±0.2% 讀數(shù)值±5nA |
±200nA | 6.1pA | ±0.5% 讀數(shù)值±0.5nA |
2). 電壓測量(MV)
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±2000V | 61mV | ±0.5% 讀數(shù)值±200mV |
±100V | 3.05mV | ±0.2% 讀數(shù)值±20mV |
±20V | 610uV | ±0.1% 讀數(shù)值±10mV |
±10V | 305uV | ±0.1% 讀數(shù)值±10mV |
±2V | 61uV | ±0.1% 讀數(shù)值±2mV |
±200mV | 6.1uV | ±0.2% 讀數(shù)值±2mV |
3. 高壓源 HVS(基本) 16位DAC
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±2000V/5mA | 30.5mV | ±0.5% 設定值±500mV |