YX-AS系列MEMS振動(dòng)加速度傳感器：
1、基本工作原理簡(jiǎn)述：
本產(chǎn)品采用單晶硅構(gòu)成質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)，差分電容方式檢測(cè)中心質(zhì)量塊與固定框架的相對(duì)位移，而該相對(duì)位移與外界輸入加速度具有確定的比例關(guān)系。
2、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)：
本產(chǎn)品是由加速度表頭、調(diào)理電路和金屬外殼等部分組成。加速度表頭采用硅微機(jī)械加工制造，差分電容敏感結(jié)構(gòu)，采用陶瓷管殼充氮封裝，表貼形式焊接在印制電路板上；調(diào)理電路由集成電路和外圍電阻、電容等電子器件構(gòu)成，采用表面貼裝方式焊接在印制電路板上；傳感器使用表面陽(yáng)氧化發(fā)黑的鋁合金外殼，內(nèi)部組件采用環(huán)氧灌封，通過(guò)電纜與外界連接，輸出測(cè)試信號(hào)，引入工作電源。
3、質(zhì)量等級(jí)及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
產(chǎn)品質(zhì)量等級(jí)為普通B1級(jí)
Q/HDYXW30001-2006 MEMS振動(dòng)加速度傳感器詳細(xì)規(guī)范
4、產(chǎn)品用途：
MEMS微硅加速度振動(dòng)傳感器具有量程大、沖擊振動(dòng)能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于地面振動(dòng)傳感與探測(cè)；導(dǎo)彈、飛機(jī)、艦船、潛艇在航行中，由于發(fā)動(dòng)機(jī)、氣流和波浪擾動(dòng)所造成的振動(dòng)；地面車輛在凹凸不平的路面上行駛所引起的振動(dòng)；旋轉(zhuǎn)機(jī)械由于質(zhì)量失衡在運(yùn)行中的振動(dòng)等等。
5、產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號(hào) | YX-AS-005 | YX-AS-010 | YX-AS-025 | YX-AS-050 | 單位 | |
| 輸入范圍 | ±5 | ±10 | ±25 | ±50 | g | |
| 頻響范圍 | 0~400 | 0~600 | 0~1000 | 0~1500 | Hz | |
| 靈敏度 | 800 | 400 | 160 | 80 | mV/g | |
| 輸出噪聲 | 32 | 64 | 158 | 316 | ug/(root Hz) | |
| 機(jī)械沖擊 | 2000g，半正弦波，0.1ms | mV/g | ||||
| 型號(hào) | YX-AS-100 | YX-AS-200 | YX-AS-400 | 單位 | ||
| 輸入范圍 | ±100 | ±200 | ±400 | g | ||
| 頻響范圍 | 0~2000 | 0~3000 | 0~3500 | Hz | ||
| 靈敏度 | 40 | 20 | 10 | mV/g | ||
| 輸出噪聲 | 632 | 1264 | 2530 | ug/(root Hz) | ||
| 機(jī)械沖擊 | 2000g，半正弦波，0.1ms | mV/g | ||||
6、其他特性：
| 項(xiàng)目 | 小值 | 典型 | 值 | 單位 | |
| 橫向靈敏度 | 2 | 3 | % | ||
| 點(diǎn) | -005 | 2 | 4 | % of span | |
| -025～-400 | 1 | 2 | % of span | ||
| 點(diǎn)漂移 | 1 | % of span | |||
| 靈敏度漂移 | 2 | % of span | |||
|
點(diǎn)溫漂 (-40℃~85℃) |
-005 | 100 | 300 | ppm of span/℃ | |
| -025～-400 | 50 | 200 | |||
| 靈敏度溫漂(-40℃~85℃) | 2000 | ppm/℃ | |||
| 非線性 | 1 | % of span | |||
| 電源電壓 | 6 | 15 | Vdc | ||
| 電源電壓抑制比 | 25 | dB | |||
| 輸出阻 | 2 | Ω | |||
| 工作電流 | 5 | 7 | mA | ||
| 緣電阻 | >100 | mΩ | |||
7、應(yīng)用環(huán)境條件：
工作溫度范圍：-40℃ ~ 85℃；
貯存溫度范圍：-55℃~125℃；
工作電壓范圍：6VDC ~ 15VDC
8、外形尺寸與接口：
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9、使用操作規(guī)程及注意事項(xiàng)：
| 引出端號(hào) | 導(dǎo)線顏色 | 號(hào) | 名稱 |
| 1 | 紅色 | VDD0 | 電源正端 |
| 2 | 黑色 | GND | 電源負(fù)端 |
| 3 | 綠色（或棕色） | AOP | 輸出正端 |
| 4 | 白色（或黃色） | AON | 輸出負(fù)端 |
10、運(yùn)輸與儲(chǔ)存 ：
傳感器運(yùn)輸時(shí)應(yīng)有牢固的包裝箱，箱外應(yīng)按GB/T191規(guī)定標(biāo)上“怕雨”等標(biāo)志。裝有產(chǎn)品的包裝箱允許用任何工具運(yùn)輸，運(yùn)輸中應(yīng)避免機(jī)械撞擊和雨、雪的直接淋襲。
傳感器應(yīng)存放在環(huán)境溫度-10℃--40℃和相對(duì)濕度不大于80%的通風(fēng)、無(wú)腐蝕性氣體影響的庫(kù)房?jī)?nèi)。