- 企業(yè)類型:制造商
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:北京
- 尺寸:參考說明書
- 重量:參考說明書
LSxxX.lab.O/R系列壓電納米線性位移臺特點:
? 超安靜運動,20HZ驅(qū)動頻率
? 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)
? 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn));4.88nm2.44nm,lnm可選
? 經(jīng)濟型空間傳感分辨率(R)100-200nm
? 最小步伐約10 nm
? 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件
? 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺,搖擺臺
?高真空 (HV) 和超高真空支持無磁 (NM) 、(UHV) 選件
命名規(guī)則LSxxX.lab.O/R系列 壓電納米線性位移臺選型表
型號 | LS25x.Lab.R | LS35x.Lab.o/R | LS65x.Lab.O/R |
底面尺寸×高度(mm) | 25×25×10 | 35×35×12 | 65×65×13 |
主體材質(zhì) | 默認(rèn)不銹鋼(可選鋁合金、純鈦版) | ||
自重(g) | 40g | 102g(.R)200g(.O) | 200g(.O) |
運動行程(mm) | 8 | 20 | 30 |
速度(mm/s) | -20 | ||
最小步伐(nm) | ~15 | ~10 | ~10 |
重復(fù)定位精度(nm) | / | 300 | 200 |
驅(qū)動頻率 | Max. 20 kHz (超安靜運動) | ||
水平推力(N) | 2 | ||
保持力 | 5 | 5 | 5 |
全行程俯仰/偏擺 | 0.2 mrad / 0.3 mrad(0.012°/0.017°) | ||
水平負(fù)載 | 500g | 500g | 2000g |
豎直負(fù)載 | 200g | 200g | 150g |
位置傳感類型 | - 電阻型傳感( .R ) | -電阻型傳感( .R ) -光柵尺傳感(.O ) | -電阻型傳感( .R ) -光柵尺傳感(.O ) |
位置傳感量程(mm) | 8 | 20 | 30 |
位置傳感分辨率 |
- 150nm | 電阻型傳感( .R ), 100-200 nm - 光柵尺傳感(.O ), 10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
- 電阻型傳感( .R ),100-200 nm - 光柵尺傳感(.O ),10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
尺寸圖