型號:JKZC-PRJ750
（一）產(chǎn)品概述:
JKZC-PRJ750是一款真空平板熱壓機，專為晶圓鍵合、薄膜轉(zhuǎn)移和 LCP 層壓設(shè)計，加熱面積為 135x135mm~350x350mm。其工作溫度為 750℃，壓力為20T~40T。
（二）基本參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | JKZC-PRJ750-4 | JKZC-PRJ750-12 |
電壓和功率 | ·AC208-240V，50/60 Hz 單相 4.8KW | AC208-240T，50/60 Hz 單相 15KW |
加熱平板(其他尺寸可定制) | 135x135mm 平面度<0.02mm(區(qū)域100X100mm) | 350x 350mm 平面度<0.03mm(區(qū)域250x250mm) |
2個平板距離(可放樣品厚度) | 80mm | 200mm |
腔體尺寸和容積 | 670長x630寬X670高(mm)~28ZL | 670 Lx630Wx719H(mm) ~303 L |
加熱平板承受壓力 | 5T(750℃) | 5T(750℃) |
壓缸行程 | 40mm | |
壓力顯示范圍 | 2.00-5000.00kg | |
壓力控制范圍 | 50-5000Kg
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壓機：
| 保壓時間:1-9999min | |
恒壓精度 | ±3kg |
（三）真空平板熱壓機結(jié)構(gòu)
兩塊塊加熱平板工作溫度750℃，采用高溫合金制作加熱元件插入加熱板的中心，以實現(xiàn)快速加熱。
2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，50段程序控溫在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管，以輔助散熱。進(jìn)/出水管為外徑12mm聚氨酯管
（四）壓機參數(shù)：
1、壓缸行程：40mm
2、壓力顯示范圍:2.00-5000.00kg
3、壓力控制范圍:50-5000Kg
4、壓機：保壓時間:1-9999min
5、設(shè)備有兩種工作模式:手動加壓和自動加壓。自動加壓模式下設(shè)備帶有恒壓功能:當(dāng)壓力值達(dá)到目標(biāo)值后，在保壓的過程中，設(shè)備持續(xù)補壓使壓力保持在設(shè)定值。
6、恒壓精度:±3kg
7、溫度控制和壓力顯示：2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，50段程序控溫，控溫精度土3℃溫度控制器具備 PID 自動校準(zhǔn)功能、過熱保護(hù)以及斷熱電偶保護(hù)功能。工作溫度:750℃<30分鐘，連續(xù)工作溫度700℃(情性氣氛或真空環(huán)境下)加熱速率:5℃/min
8、溫度控制和壓力顯示：控制面板內(nèi)內(nèi)置了一款數(shù)字壓力計(控制器)。您可以設(shè)定所需的壓力值，這樣就能使電動液壓機到達(dá)壓力值時自動恒壓。
（四）真空腔體
1、電動液壓機和加熱板被放置在真空室內(nèi)部
2、真空室由： ss304 不銹鋼制成
3、真空腔體安裝有一個真空密封門，直徑300mm,有一個直徑150m的石英窗口，4、便于裝樣品和觀察：所有真空密封均使用硅橡膠0型圈
5、可選購安裝了一個數(shù)字真空計(10E-4Torr)測量真空腔室的真空度
可選可選購設(shè)備(需額外費用)
5、需要一臺循環(huán)水冷機，用于對過熱的散熱板進(jìn)行冷卻，以加快冷卻速度。可選購真空泵，機械泵抽真空度300mTorr，分子泵系統(tǒng)抽真空度10-4Torr
應(yīng)用注意：
此款熱壓機也可用于測量熱電發(fā)電機模塊(頂部受熱，底部冷卻)
