- 精度:0.5% F.S
- 重復(fù)性:± 0.1% F.S
- 運(yùn)行溫度:-10~+70℃
- 溫度敏感性:0.1%F.S/℃
- 批號:409719
數(shù)字式壓力控制器/壓力計(jì) 型號:DFHB-409719 庫號:D409719
為直通式設(shè)計(jì),測量范圍從100KPa到10MPA(絕壓和表壓皆可)。此外,還提供差壓變送器。該系列儀表度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。
是處于硅芯片表面的壓敏電阻橋。該芯片從其背面鉆出,給芯片內(nèi)部形成壓力隔膜,其厚度決定壓力范圍。當(dāng)壓力作用于芯片時(shí),壓膜彎曲,電阻橋的電阻值與壓力成比例地變化。測量元件通過薄靈敏的不銹鋼隔膜與外部壓力隔開,隔膜和測量元件之間的密封腔充滿了油。
可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥。
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制,高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。
參數(shù)
壓力計(jì)
精度(包括線性和滯后性)± 0.5% F.S
壓力量程比壓力計(jì)1:100
重復(fù)性± 0.1% F.S
傳感器響應(yīng)時(shí)間0.2s
控制穩(wěn)定性≤±0.05% F.S(測定條件:1 L/min N2)
運(yùn)行溫度-10~+70℃
溫度敏感性0.1%F.S/℃
漏率1×10 Pa m3/S
方位影響度(90°變化)
<0.03KPa(絕壓/表壓傳感器)
<0.6KPa (差壓傳感器)
預(yù)熱時(shí)間忽略不計(jì)
壓力控制器1:50
剩下參數(shù)同上
機(jī)械部件
壓力計(jì)/壓力控制器
材質(zhì)
工藝連接
密封材質(zhì)
防護(hù)等級(外殼)
不銹鋼
G3/8”、G1/2”
氟橡膠、氯丁橡膠、橡膠、全氟醚、金屬密封等
IP40
電氣特性
壓力計(jì)/壓力控制器
電源15~24Vdc
數(shù)字輸出Modbus協(xié)議 RS485232 、Profibus協(xié)議、EtherCAT協(xié)議、 Profinet協(xié)議、FF協(xié)議
電氣連接DB9孔、RJ11