- 質(zhì)保:一年
- 特點(diǎn):測量精準(zhǔn)
膜厚儀是一種用于測量薄膜厚度的精密設(shè)備,以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
自動識別材料膜厚儀工作原理
光學(xué)原理
激光干涉:激光光源發(fā)出的光束經(jīng)分光鏡分成兩束,一束照射到薄膜表面反射,另一束作為參考光,兩束光在探測器處疊加形成干涉條紋,通過分析干涉條紋的變化計(jì)算出膜厚。
白光干涉:利用白光光源,不同波長的光在薄膜上下表面反射后產(chǎn)生干涉,形成彩色干涉條紋,根據(jù)條紋特征和光程差關(guān)系確定膜厚。
自動識別材料膜厚儀
磁感應(yīng):適用于鐵磁基體上的非鐵磁覆層測量。測頭產(chǎn)生的磁通通過非鐵磁覆層進(jìn)入鐵磁基體,覆層越厚,磁阻越大,磁通越小,通過測量磁通或磁阻來確定覆層厚度。
電渦流:測頭線圈通高頻交流信號產(chǎn)生電磁場,在靠近導(dǎo)電基體時(shí)產(chǎn)生渦流,測頭與基體距離變化會使渦流和反射阻抗變化,以此測量非導(dǎo)電覆層厚度。
X 射線原理:X 射線源發(fā)出的 X 射線照射到薄膜樣品上,部分 X 射線被薄膜吸收、散射,部分透過,探測器收集透過或散射的 X 射線信號,根據(jù) X 射線衰減規(guī)律和信號強(qiáng)度計(jì)算膜厚。
自動識別材料膜厚儀自動識別材料膜厚儀
光學(xué)膜厚儀:如 Filmetrics 膜厚儀 F50 可測量光滑非金屬薄膜,依靠光譜測量系統(tǒng)獲得薄膜厚度分布圖,通過分析光的反射干涉光譜判斷膜厚。
電磁式膜厚儀:包括磁感應(yīng)鍍層測厚儀和電渦流鍍層測厚儀,前者用于鐵磁基體覆層測量,后者用于非鐵磁金屬基材上覆層測量。
X 射線膜厚儀:如日本精工的 SFT9100M、SFT9200 等系列,可檢測金屬鍍層膜厚,還能分析薄膜表層金屬元素。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè):在芯片制造中,對光刻膠、絕緣層、金屬布線等薄膜層的厚度進(jìn)行精,確測量和監(jiān)控,確保芯片電路性能和可靠性。
光學(xué)領(lǐng)域:用于光學(xué)鏡片、濾光片、增透膜等光學(xué)元件的膜層厚度測量,保證光學(xué)元件的光學(xué)性能,如透過率、反射率等。
表面處理行業(yè):在金屬材料的電鍍、涂裝、化學(xué)鍍等表面處理過程中,檢測涂層的厚度和均勻性,控制涂層質(zhì)量,提高材料的耐腐蝕性、耐磨性等性能。
材料研究:在新型薄膜材料的研發(fā)過程中,對薄膜的生長過程和厚度進(jìn)行監(jiān)測和分析,研究薄膜的性能與厚度的關(guān)系,為材料的優(yōu)化和應(yīng)用提供數(shù)據(jù)支持。
發(fā)展趨勢
小型化和便攜性:為滿足現(xiàn)場測試和移動測量需求,膜厚儀正朝著小型化、便攜式方向發(fā)展,方便操作人員在不同環(huán)境下使用。
多功能性:集成多種測量技術(shù),如將光學(xué)、電磁、X 射線等測量原理集成于一體,可適應(yīng)不同材料、不同厚度范圍的薄膜測量,提高儀器的通用性和測量能力。
智能化:利用大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù),實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動采集、分析和處理,能夠自動識別樣品類型、選擇測量參數(shù),還可進(jìn)行故障診斷和預(yù)測維護(hù)。