行程為305毫米×305毫米(12英寸)
單向重復(fù)精度達(dá)0.05微米
速度達(dá)90毫米/秒
兩相步進(jìn)電機(jī)或直流電機(jī)
增量線性編碼器分辨率為1納米
20000次脈沖/分辨率的旋轉(zhuǎn)編碼器
增量編碼器用于高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)測量造成影響。
光學(xué)限位和參考點(diǎn)開關(guān)。
驅(qū)動(dòng)器類型
兩相步進(jìn)電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)矩(即使低速時(shí))和高分辨率
直流電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高速度穩(wěn)定性、低振動(dòng)和高速
可按需提供其他行程。
交叉滾柱導(dǎo)軌
對(duì)于交叉滾柱導(dǎo)軌,滾珠導(dǎo)軌中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預(yù)載更小,這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱導(dǎo)軌還具有高導(dǎo)向精度和高負(fù)載能力的特征。力導(dǎo)向滾動(dòng)體保持架防止保持架蠕變。
應(yīng)用領(lǐng)域
醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計(jì)量, 激光打標(biāo)