激光器特點(diǎn)
l 長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模塊可現(xiàn)場(chǎng)更換
l TEM00基模輸出（M2<1.3）
l 體積小，結(jié)構(gòu)緊湊
l 重復(fù)頻率30kHz-100kHz可調(diào)
應(yīng)用范圍
l 薄膜蝕刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圓切割
l 科學(xué)研究等
l 激光標(biāo)記
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | RM355Q-3W |
波長(zhǎng) | 355nm |
功率 | 3W@30KHz |
單脈沖能量 | 100μJ@30kHz |
頻率 | 30~100kHz |
脈寬 | <20ns@30KHz |
光斑模式 | TEM00 (M2<1.3) |
光束直徑 | 0.5±0.1mm |
功率穩(wěn)定性 | <3% RMS over 8 hours |
脈沖穩(wěn)定性 | <3% RMS over 10mins |
光點(diǎn)穩(wěn)定性 | <50μrad |
光束發(fā)散角 | <2mrad (full angle) |
光斑圓度 | >90% |
控制方式 | RS232, Gate, Trigger |
制冷方式 | Air-cooling |
偏振方向 | Horizontal |
偏振比 | >100:1 |
環(huán)境溫度 | 15°C ~ 35°C |
相對(duì)濕度 | 10% ~ 80%（無結(jié)露） |
預(yù)熱時(shí)間 | <15mins |
工作電壓 | 90V ~ 260V |
