- 方塊電阻:10 -5 ~1X10 6 Ω /£
- 主 機: 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)
- 電阻:10 -5 ~2X10 6 Ω
- 凈 重:≤2.5kg
- 直 徑: SZT-B/C/F 方測試臺直接測試方式 180mm×180mm, 手持方式不限
- 電阻率:10 -6 ~2X10 5 Ω .cm
四探針測試儀ST2258C+ ST2553-F01探頭+ ST2558B-F01(可測半導體材料) 配置: ST2258C 四探針儀器 配 ST2553-F01 探頭測硅片 配 ST2558B-F01 測 ITO 膜
四探針測試儀ST2258C+ ST2553-F01探頭+ ST2558B-F01(可測半導體材料)
配置:
ST2258C 四探針儀器
配 ST2553-F01 探頭測硅片
配 ST2558B-F01 測 ITO 膜
二、概述
2.1 基本功能和依據(jù)標準:
ST2258C 型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、智能化綜合測量儀器。該儀器
設計符合 GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺
單晶電阻率測定直流四探針法》等并參考美國 A.S.T.M 標準。
2.2 儀器成套組成:由 ST2258C 四探針主機、選配的四探針探頭、選配四探針測試臺等部分組成。
2.3 特征:
1:本測試儀特增設測試結(jié)果自動分類功能,大分類 10 類。
2:可定制 USB 通訊接口,便于其拓展為集成化測試系統(tǒng)中的測試模塊。
3:8 檔位寬量程,行業(yè)。 同行一般為五到六檔位。
4: 儀器小型化、手動/自動一體化。
5: 儀器操作簡便、性能穩(wěn)定,所有參數(shù)設定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。
2.4 探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規(guī)格特征選型參照表》
1 配高耐磨的碳化鎢探針探頭,如 ST2253-F01 型,以測試硅等半導體、金屬、導電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;
2 配膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭,如 ST2558B-F01 型,可測金屬箔、碳紙等導電薄膜,也可測陶瓷、玻璃或 PE 膜等基底
上導電涂層膜,如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO 膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。
3 配箔上涂層探頭,如 ST2558B-F02 型,也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。
4 換上四端子測試夾具,還可對電阻器的體電阻進行測量。。
2.5 測試臺選配:根據(jù)不同材料特性需要,測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規(guī)格特征選型參照表》
四探針法測試固體或薄膜材料選配 SZT-A 型或 SZT-B 型(電動)或 SZT-C 型(快速恒壓)或 SZT-F 型(電池片)測試臺。
二探針法測試細長棒類材料選配 SZT-K 型測試臺.
平行四刀法測試橡塑材料選配 SZT-G 型測試臺。
2.6 適用范圍:儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
三、基本技術參數(shù)
測量范圍
1、電阻率:10 -6 ~2X10 5 Ω .cm
2、方塊電阻:10 -5 ~1X10 6 Ω /?
3、電阻:10 -5 ~2X10 6 Ω
2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)
直 徑: SZT-B/C/F 方測試臺直接測試方式 180mm×180mm, 手持方式不限
長(高)度: 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限. .
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3 量程劃分及等級
滿 度 顯 示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00
測 試 電 流 0.1μA 1.0μA 10μA 100μA 1.0mA 10mA 100mA 1.0A
常 規(guī) 量 程 kΩ-cm/□ kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
基 本 誤 差
±2%FSB
±4LSB
±1.5%FSB
±4LSB
±0.5%FSB±2LSB ±1.0%FSB
±4LSB
注: 電流精度 ±0.1%
3.4 四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距 1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距 2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.5. 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.6.外形尺寸、重量:
主 機: 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高), 凈 重:≤2.5kg型號ST2258C+ST2553-F01探頭四探針測試儀 型號ST2258C+ST2553-F01探頭四探針測試儀 型號ST2258C+ST2553-F01探頭四探針測試儀 型號ST2258C+ST2553-F01探頭