- 響應時間:1μs
- 光敏面:21×21mm
- 工作溫度: -10~60℃
- 分辨率: 2μm
- 光譜響應范圍:380~1100nm
工作原理與PSD特點 1 結構 如圖1截面圖所示,PSD由在平面硅襯底上的三層組成:P型層在表面,N型層在另一面,I層在它們中間。落在PSD上的入射光轉換成光電子后由P型層上兩端電極探測并形成光電流。 圖1 2 原理 當一束光落在PSD上,相應于光能量的電荷在入射點產生,電荷通過P型電阻層被電極收集。P型層是均勻一體的電阻層,被電極收集到的光電流與入射點和電極間距成反比。 由此可得出如下公式:I1和I2是電極的光電流,L和I0分別代表電極間距和總光電流。 圖2 當PSD幾何設定為坐標原點: ----------(1) ----------(2) ----------(3) ----------(4) 當PSD一端設定為坐標原點: ----------(5) -----------(6) ----------(7) ----------(8) 由公式(3),(4),(7),(8)顯示,不同的比率可得出相應的與光能量無關的入射光點的位置。 3一維PSD PSD分兩種類型:一維PSD(稱1D-PSD)和兩維PSD(稱2D-PSD)探測器,圖3a是1D-PSD的結構圖。 a b 圖 3 圖3b是1D-PSD的等效電路圖。由于有寄生Cj和Rp,它們的時間常數決定了PSD的響應速度。通過集成電路處理,1D-PSD可用于探測100ps脈沖寬度的激光光斑。 4 2D-PSD 2D-PSD是一種改進型四側面結構,包括改進敏感面和電極。另外,器件暗電流小,響應速度高和設置偏壓容易,邊緣畸變小。 圖 5 5 轉換公式 PSD光敏面上光點位置可由如下公式得出:這里 X1和X2代表每一電極輸出信號(光電流),x是光點位置坐標。 圖 6 圖 7 6 電路 圖8是1D-PSD直流處理 電路原理圖。Vr是偏置電壓。 圖8 7 PSD處理電路 我所可提供1D-PSD和2D-PSD信號處理電路。1D-PSD,2D-PSD分別是1D-PSD和2D-PSD非調制信號處理板。只要簡單地把處理板連接電源,位置信號能得到。 本所研制開發(fā)了調制信號處理電路,數據可以液晶顯示,可以通過RS232口與通訊。 本所還具有PSD應用整機開發(fā)的實力。 PSD探測器 ●W101(1D-PSD) 光敏面 1×3mm 分辨率 0.1μm 光譜響應范圍 380~1100nm 響應時間 0.5μs 工作溫度 -10~60℃ ●W203(2D-PSD) 光敏面 21×21mm 分辨率 2μm 光譜響應范圍 380~1100nm 響應時間 1μs 工作溫度 -10~60℃二維PSD位置傳感器 型號PSD-W203 M45025 二維PSD位置傳感器 型號PSD-W203 M45025 二維PSD位置傳感器 型號PSD-W203 M45025 二維PSD位置傳感器 型號PSD-W203 M45025