JKZC-DSH系列雙面探針臺
|產(chǎn)品概要
JKZC-DSH系列雙面探針臺是我司自主研發(fā)的一款雙面探針臺，可完成12英寸晶圓的正反面點(diǎn)針測試。在具備常 規(guī)探針臺的功能基礎(chǔ)上,可用于晶圓和PCB板的測試，對晶圓或者PCB板正面和背面同時(shí)扎針以實(shí)現(xiàn)各種 光/電性能測試需求的測試，或背面點(diǎn)針，正面收集光線等,運(yùn)用十分豐富。該定制探針臺具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，符合人體工程學(xué)，以及多項(xiàng)升級功能。此設(shè)備在激光器,LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試等 方面得到了廣泛運(yùn)用。如果您的產(chǎn)品也有雙面點(diǎn)針,或者背面點(diǎn)針的需求，此款產(chǎn)品。
|技術(shù)特點(diǎn)
?雙層設(shè)計(jì)，可正反面同時(shí)點(diǎn)針，可同時(shí)加載DC和RF信號；
?卡盤大手柄雙驅(qū)動(dòng)，省時(shí)，省力，省心，可升級360度快速移動(dòng)；
?加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
I詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號 技術(shù)參數(shù) | JKZC-DSH6 | JKZC-DSH8 | JKZC-DSH12 | |
臺體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機(jī)尺寸（mm） | 750L*550W*680H | 800L*580W*680H | 930L*700W*680H | |
重量 | 85kg | 100kg | 160 kg | |
卡盤大小 | 6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 12",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤XY軸行程 | 6"*6",精度 10um | 8"*8",精度 10um | 12"*12",精度 10um | |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 | |||
卡盤材質(zhì) | 高透射玻璃或者鏤空 | |||
固定方式 | 機(jī)械式壓片固定或者真空吸附，尺寸可調(diào) | |||
其他功能 | 帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級 | |||
針座平臺 | 類型 | 雙面點(diǎn)針平臺，單個(gè)平臺最多■可放置8個(gè)JKZC-DR/L-100探針座 | ||
材質(zhì) | U型平臺，Q235鍍鎳，帶接地端子，帶接地端子 | |||
正面光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | |||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
背面光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | L型單筒顯微鏡 | ||
倍率范圍 | 0.75X-5X | |||
顯微鏡行程 | 40X-280X （可選高倍物鏡增加倍率） | |||
CCD成像系統(tǒng) | 21＜或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 | ||
X￥Z行程 | 12.5 mm-12.5 mm-12.5 mm | |||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng) | ||
電力需求 | 220W50HZ |
