JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺(tái)
|產(chǎn)品概要
JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺(tái)是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)。其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)精密，價(jià)格實(shí)惠，配置靈活，極具性?xún)r(jià)比。在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過(guò)程中得到了廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表，用于測(cè)試各類(lèi)器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號(hào)，1/f噪聲測(cè)試，器件表征測(cè)試，RF射頻等。如果您的測(cè)試器件pad電極大于50um,此系列探針臺(tái)。
|技術(shù)特點(diǎn)
?整機(jī)一體化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊占地小，可放置于手套箱內(nèi)使用；
?自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過(guò)濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾；
? U型平臺(tái)鍍鎳設(shè)計(jì)，增大針座加載空間的同時(shí)還提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力。
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) | JKZC-DM4 | JKZC-DM6 | JKZC-DM8 | |
探針臺(tái)臺(tái)體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機(jī)尺寸（mm） | 500L*380W*520H | 550L*420W*520H | 600L*480W*520H | |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | |
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過(guò)濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾 | |||
卡盤(pán)大小 | 4英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 6英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 8英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤(pán)XY軸行程 | 4英寸*4英寸，精度10um | 6英寸*6英寸，精度10um | 6英寸*6英寸，精度10um | |
卡盤(pán)Z軸行程 | 快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度丄微米（選件） | |||
卡盤(pán)材質(zhì) | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | |||
卡盤(pán)吸附方式 | 真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | |||
背電極測(cè)試功能 | 卡盤(pán)鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | |||
其它功能 | 帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí) | |||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U型平臺(tái)，Q235鍍療，帶接地端子 | ||
大小 | 最多可放置4個(gè)探針座 | 最多可放置6個(gè)探針座 | 最多可放置8個(gè)探針座 | |
顯7F系統(tǒng) | 顯微鏡類(lèi)型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X | |||
調(diào)焦范圍 | 50.8mm | |||
顯微鏡移動(dòng) | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu)，帶顯示器支架 | |||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 | |||
探針座 | 種類(lèi) | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 | ||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/裸線(xiàn)等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻系統(tǒng)/同軸/三軸加熱卡盤(pán)/顯微鏡萬(wàn)向支架等 | ||
電力需求 | 220V/50HZ |
