JKZC-UC系列高低溫探針臺
產(chǎn)品概要
JKZC-UC系列高低溫探針臺是一款在非真空條件下實現(xiàn)低溫環(huán)境的測試探針臺。該產(chǎn)品釆用液氮或者空氣壓縮機(jī)制冷 ,自動控溫，設(shè)備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室，一方面可以屏蔽無線電磁干擾，另外一方面也可以保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜。此設(shè)備對于一些有溫度需求的測試，尤其是低溫，運(yùn)用非常廣泛。
技術(shù)特點
?采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽無線電磁干擾的同時可給樣品提供高低溫測試環(huán)境；
?卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置，提高測試效率；
?加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計,領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號 技術(shù)參數(shù) | JKZC-UC6 | JKZC-UC8 JKZC-UC12 | ||
探針臺本體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機(jī)尺寸（mm） | 780L*580W*680H | 830L*610W*680H | 950L*730W*680H | |
重量 | 85kg | 125kg | 175kg | |
卡盤大小 | 6" ,360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | 8",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | 12", 360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | |
卡盤XY軸行程 | 6"*6"，精度 10um | 8"恪"，精度10um | 12"*12"，精度 10um | |
卡盤氣浮移動范圍 | 360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率 | |||
卡盤材質(zhì) | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | |||
卡盤拉出功能 | 卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80%,便于更換樣品 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | |||
背電極測試功能 | 卡盤鍍金，電學(xué)獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | |||
腔體 | 帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜 | |||
其他功能 | 帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級 | |||
溫控 | 溫度范圍 | -100~200°C - 80~200°C | -60~2000°C | |
溫控精度 | 溫度分辨率：0.01°C | |||
加熱電源 | LVJKZC-DCH低壓直流 | |||
控溫速率 | ±0.1℃ | |||
制冷方式 | 液氮制冷（自動控溫） | |||
針座平臺 | 材質(zhì) | 0型平臺，Q235鍍鎳，帶接地端子 | ||
大小 | 最多可放置8個探針座 最多可放置10個探針座 | 最多可放置14個探針座 | ||
兩段式升降平臺 | 探針平臺可以快速升降，行程3mm；可以上下微調(diào)，行程40mm,升降精度lum | |||
顯TH系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X-200X/40X-280X/20X-4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸P英寸，精度lum | |||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 | ||
X￥Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動 | ||
電力需求 | 220V/50HZ |
