Inficon 真空計(jì) 型號(hào):TR48-PEG100-351-000庫(kù)號(hào):M408162
測(cè)量范圍廣:5
X 10-7~1
Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
幾何電極提供了極好的點(diǎn)火性能
降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過(guò)程中也一樣
陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可清洗,更換容易
小磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)量
LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
Fieldbus總線接口(Profibus
DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信
用 途
高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)
蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)
中,
高真空范圍的一般真空測(cè)量與控制