1、ACC-20 圓型靶標
型號：ACC-20 貨號：10820001
一塊圓形直徑：20mm 圓度：±0.5μm
一塊圓形直徑：0.5mm 0.1mm 圓度：±0.5μm
2、ACC-10-網(wǎng)格板
型號：ACC-10-10 貨號：10810101
規(guī)格：340*340mm
方格尺寸：10*10mm
：±0.5um
3、ACC-5-5納米級臺階樣板
型號：ACC-5-5 貨號：10850501
外型尺寸 :5x5mm
臺階高度 :20/100/500nm, 每一個包裝盒上的標志都有具體的數(shù)值結(jié)構(gòu)幾何 :
- 1mmx1mm的正方上每10μm間距有正方形柱子和洞
- 500
4、ACC-S1000放大倍率樣板
該系列標樣既可用于掃描電鏡，也可用于光學(xué)顯微鏡（包括普通光學(xué)顯微鏡和激光共焦顯微鏡）的放大倍率校準。
1、柵格小分辨率：0.5um
2、規(guī)格： 40μm、20μm、10μm、5μm和1μm的線距
型號：ACC-S1000 貨號：10810001
| 光柵區(qū)域 | 大方格 | 中方格 | A | B |
| x向水平柵距 | 2000.6μm | 1200.4μm | 40000.6 | 20000.4 |
| 及不確定度 | ± 2μm | ±1μm | ± 4 nm | ± 2 nm |
| y向水平柵距 | 2000.6μm | 1200.4μm | 40000.6 | 20000.4 |
| 及不確定度 | ± 2μm | ±1.2μm | ± 5 nm | ± 3nm |
| 正交性 | 90 | 90 | 90 | 90 |
| 及不確定度 | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o |
| 柵距非均勻性 | ≤0.2％ | ≤0.3％ | ||
| (包括不同模版間) |
| 光柵區(qū)域 | C | D | E1 | E2 |
| x向水平柵距 | 10000.2 nm | 5000.0 nm | 2000.4 nm | 1000.4 nm |
| 及不確定度 | ± 2 nm | ±1.5 nm | ± 1 nm | ± 0.8 nm |
| y向水平柵距 | 10000.2 nm | 1000.0 nm | 1000.4 nm | 1000.4 nm |
| 及不確定度 | ± 1.5 nm | ±1 nm | ± 1 nm | ± 0.9 nm |
| 正交性 | 90 | 90 | 90 | 90 |
| 及不確定度 | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o |
| 柵距非均勻性 | ≤0.3％ | ≤0.5％ | ≤1％ | ≤1.5％ |
