PIEZOCONCEPT是生產(chǎn)納米平臺的行業(yè)，主要針對納米平臺與分辨率顯微鏡、光子捕獲和原子力顯微鏡配套使用。我們的用戶包括許多世界院校和機構(gòu)中研究前沿科學技術(shù)的和學者。數(shù)十年來，科研人員電容傳感器平臺，但是很多的科研工作者都希望有一種更加穩(wěn)定和線性的新型顯微鏡移動平臺。為了穩(wěn)定的要求，我們通過長時間的努力研發(fā)，終得到了更加精準和穩(wěn)定的平臺。我們提供一系列的穩(wěn)納米平臺能夠滿大多數(shù)使用顯微鏡前沿研究。
我們產(chǎn)品的特點就是使用的傳感器高端電容傳感器，能夠獲得更強的信號，平臺高穩(wěn)定性。同時，我們采用低噪聲電子和彎曲設(shè)計平臺，能夠亞納米級本底噪聲。
產(chǎn)品概述和特點
主要應(yīng)用：
航天航空
顯微與成像
技術(shù)
納米技術(shù)
數(shù)據(jù)存儲技術(shù)
圖像處理
測量/檢測
生物科學與生命科學
集成光學
激光加工與激光光刻
半導體技術(shù)
精密加工
技術(shù)參數(shù)
1軸納米平臺 | HS1
| HS1（帶孔）
| FOC
| Z-INSERT
|
移動范圍（μm） | 30/50/70 | 30/50/70 | 100/200/300 | 100?/200/300 |
分辨率（nm） | 0.03/0.05/0.07 | 0.03/0.05/0.07 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 |
本底噪聲（nm） | 0.003/0.005/0.007 | 0.003/0.005/0.007 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 |
重復定位（nm） | 0.06/0.1/0.14 | 0.06/0.1/0.14 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 |
線性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
共振頻率（Hz） | 4000 | 4000 | 500/350/250 | 500/450/350 |
剛度（N/μm） | 3 | 3 | 0.6/0.4/0.4 | 0.6/0.4/0.4 |
Max Load（kg）-橫向 | 1 | 1 | 0.5 | 1 |
Max Load（kg）-橫向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 62.5*69.5*12.6 | 62.5*96.1*12.6 | 53.6*64.2*34.5 | 109.8*159.8*19.1 |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
電源線長度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | 標準或者控制器 | 標準或者控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 |
2軸納米平臺 | BIO2
| LT2
| LFHS2
| LTHS2
| TT2
|
移動范圍XY（μm） | 100/200/300 | 100/200/300 | 75 | 75 | 5 |
分辨率XY（nm） | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.075 | 0.075 | 0.005 |
本底噪聲XY（nm） | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.0075 | 0.0075 | 0.0005 |
重復定位XY（nm） | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.15 | 0.15 | 0.01 |
線性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
共振頻率XY（Hz） | 500/400 | 500/400 | 3000/200?0 | 1500/1000 | 4000?/2000 |
剛度XY（N/μm） | 0.6.5 | 0.6.5 | 4.0.0 | 2 | N/A |
Max Load（kg）-橫向 | 1 | 1 | 1 | 0.5 | 0.2 |
Max Load（kg）-橫向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.2 |
傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 206.5*152.5*15.6 | 155.5*152.5*15.5 | 120.8*120.7*28.5 | 152.5*190*18.5 | 51*60.5*43.2 |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
電源線長度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 | 控制器 | 標準或者控制器 | 標準或者控制器 |
3軸納米平臺 | BIO3
| LT3
| LFHS3
| CUBE3
|
移動范圍XYZ（μm） | 100?/200/300 | 100/200/300 | 75/75/50 | 100/200? |
分辨率XYZ（nm） | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.075/0.075/0.05 | 0.1/0.2 |
本底噪聲XYZ（nm） | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.0075/0.0075/0.005 | 0.01/0.02 |
重復定位XYZ（nm） | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.15/0.15/0.1 | 0.2/0.4 |
線性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | |
共振頻率XYZ（Hz） | 500/400/400 | 500/400/400 | 3000?/2000/1500 | 200?/200/500 |
剛度XYZ（N/μm） | 0.6/0.5/0.5 | 0.6/0.5/0.5 | 4/3/3 | 0.3/0.3/0.6 |
Max Load（kg）-橫向 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Max Load（kg）-垂向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 | 硅質(zhì)高分辨率傳感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 152.5*213*20.45 | 152.5*193*20.7 | 140*121*33.6 | 140*121*33.6 |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
電源線長度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 |
