能量色散X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測、記錄及數據處理等單元組成。

激發(fā)單元的作用是產生初級X射線。它由高壓發(fā)生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。 能量色散X射線熒光光譜儀技術原理能量色散X射線熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，凡間是指能t局限在0.1^-100keV的光子。

能量色散X射線熒光光譜儀與物質的互相效果首要有熒光、接收和散射三種。能量色散X射線熒光光譜儀是由物質中的構成元素發(fā)生的特征輻射，經過側里和剖析樣品發(fā)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家構成，獲得物質成分的定性和定量信息。能量色散X射線的發(fā)生與特征當用高能電子束照耀樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加快度會發(fā)生寬帶的延續(xù)X射線譜，簡稱為延續(xù)潛或韌致輻射。 

另一方面，化學元素遭到高能光子或粒子的照耀，如內層電子被激起，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。能量色散X射線是一種別離的不延續(xù)譜.假如激起光源為x射線，則受激發(fā)生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征X射線顯示了特征能量色散X射線熒光光譜儀發(fā)生的進程。當人射x射線撞擊原子中的電子時，如光子能量大于原子中的電子約束能，電子就會被擊出。這一互相效果進程被稱為光電效應，被打出的電子稱為光電子。經過研討光電子或光電效應可以取得關于原子構造和成鍵形態(tài)的信息。

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