Park原子力顯微鏡
Park Systems擁有世界上（納米尺度）可供研究和工業(yè)應(yīng)用的顯微鏡和測(cè)量工具產(chǎn)品線。我們的技術(shù)，如True-Non ContactTM模式和前沿的自動(dòng)化讓我們的產(chǎn)品從競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出，成為容易使用和的原子力顯微鏡。
制造商簡(jiǎn)介
Park Systems長(zhǎng)期致力于推進(jìn)新興的納米顯微鏡和計(jì)量技術(shù)。
執(zhí)行官兼人Sang-∥ Park博士是初的斯坦福大學(xué)原子力顯微鏡技術(shù)的開發(fā)團(tuán)隊(duì)的一員，該團(tuán)隊(duì)在1980年代早期開發(fā)了原子力顯微鏡技術(shù)，并為現(xiàn)今的技術(shù)發(fā)展鋪平了道路。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，Park博士
敏銳地認(rèn)識(shí)到原子力顯微鏡技術(shù)的大并在1997年創(chuàng)立了世界上個(gè)商業(yè)化原子力顯微鏡公司Park Scientific Instruments和隨后的Park Systems，從而將這種而復(fù)雜的納米成像和計(jì)量技術(shù)推向了更廣闊的市場(chǎng)。2015年12月，Park Systems次公開上市招股，并加入KOSDAQ綜合指數(shù)。
公司致力于將世界上的納米測(cè)量和成像技術(shù)推向更加廣闊的市場(chǎng)。如今，我們的產(chǎn)品被科技行業(yè)的者廣泛使用，幫助他們科技，開發(fā)優(yōu)異的產(chǎn)品，并產(chǎn)率。
技術(shù)
True Non-Contact模式原子力顯微鏡
Park原子力顯微鏡的True Non-ContactTM模式，該模式使得針尖保持尖銳并不破壞樣品表面，為用戶多次測(cè)量提供保障。這使得掃描更好、更準(zhǔn)確，并減少了所需的維護(hù)。
啟動(dòng)True Non-ContactTM模式時(shí)，壓電調(diào)制器使懸臂在一個(gè)接近其固有頻率的頻率上小振幅振動(dòng)。當(dāng)探針接近樣品時(shí)，針尖和樣品之間的范德華引力會(huì)影響懸臂振動(dòng)的振幅和相位。Park原子力顯微鏡的Z-servo反饋系統(tǒng)會(huì)監(jiān)測(cè)到這些變化，并使針尖和樣品之間的距離保持在幾納米，從而保護(hù)樣品表面或探針不被破壞。
優(yōu)點(diǎn)
減少針尖磨損從而保持長(zhǎng)時(shí)間的高分辨率
非破壞性針尖和樣品的相互作用能夠更好地保護(hù)樣品
參數(shù)對(duì)成像結(jié)果影響較小
架構(gòu)
Park原子力顯微鏡的一大特點(diǎn)就是采用鉸鏈分離式XY和Z架構(gòu)和快速Z掃描儀，從而提供無(wú)扭曲平面掃描，非接觸式技術(shù)，擁有動(dòng)態(tài)控制Z平臺(tái)的力-距離分光鏡，和世界上的可供3D測(cè)量的旋轉(zhuǎn)頭。
更高的線性度使掃描更加
分離式無(wú)背景曲率XY和Z掃描儀可控制外平面運(yùn)動(dòng)
Park原子力顯微鏡的一大特點(diǎn)是采用分離式無(wú)背景曲率的XY和Z掃描儀，以降低外平面運(yùn)動(dòng)誤差至每100微米小于2nm。
更好的響應(yīng)性使用戶可以觀測(cè)到更多
相比壓電管掃描儀，我們的XY掃描儀均有的驅(qū)動(dòng)軸，可以為每個(gè)方向提供更好的響應(yīng)性，使用戶可以看到每一處細(xì)節(jié)。
Park SmartScan的1,2,3點(diǎn)擊成像
在這個(gè)被復(fù)雜和設(shè)計(jì)欠缺的用戶界面占據(jù)主導(dǎo)的行業(yè)，Park Systems自豪的出一套強(qiáng)大且易于操作的系統(tǒng)。我們的Park Systems操作系統(tǒng)，可以自動(dòng)化許多研究人員和工程師的日常工作，顯著實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境的效率，從而使更多的高技術(shù)人員能夠?qū)⑺麄兊囊恍┕ぷ鬓D(zhuǎn)移給經(jīng)驗(yàn)較少的用戶。
Park SmartScan自動(dòng)化并通過(guò)每一步成像過(guò)程引導(dǎo)用戶。用戶將樣品放置在樣品臺(tái)上，選擇感興趣的區(qū)域，并制定所想要的掃描尺寸。其余的工作可以通過(guò)點(diǎn)擊各個(gè)按鈕由軟件完成。
系統(tǒng)將自動(dòng)執(zhí)行懸臂的頻率掃描，移動(dòng)Z平臺(tái)至樣品，并自動(dòng)對(duì)焦到樣品上供用戶查看并選定感興趣的成像區(qū)域。同時(shí)將調(diào)整相關(guān)參數(shù)并優(yōu)化設(shè)置，懸臂定位樣品，然后開始掃描。掃描過(guò)程中直到圖像完成，都無(wú)需用戶輸入其他內(nèi)容。
大的集成軟件
Park Systems不斷致力于我們的產(chǎn)品使科研和工業(yè)街的用戶受益。我們新的集成軟件將在納米級(jí)顯微鏡和計(jì)量工具的準(zhǔn)確度和效率上有顯著的。
以下是我們技術(shù)的部分列表：
Pinpoint Nanomechanical針尖納米機(jī)械的
QuickStep SCM快速SCM
One p EFM一鍵EFM
基于配方的自動(dòng)掃描
自動(dòng)缺陷檢查
3D掃描
掃描離子電導(dǎo)顯微鏡與原子力顯微鏡
應(yīng)用領(lǐng)域
Park Systems提供了一系列受歡迎的用于常規(guī)研究和工業(yè)應(yīng)用原子力顯微鏡。我們的設(shè)計(jì)多樣化，同時(shí)工作的高和多功能性，使研究人員和工程師能夠快速輕松地獲得的檢測(cè)結(jié)果。
應(yīng)用學(xué)科 | 應(yīng)用領(lǐng)域 |
材料科學(xué) | 失效分析 |
電子技術(shù) | 半導(dǎo)測(cè)、磁介質(zhì)檢測(cè) |
生命科學(xué) | 細(xì)胞形態(tài)成像、納米活檢與 |
電化學(xué) | 電化學(xué)反應(yīng)成像 |
Park系列原子力顯微鏡范圍內(nèi)的研究所和企業(yè)。我們力求提供、便于操作的納米顯微鏡來(lái)滿足客戶的需求。
產(chǎn)品型號(hào)和參數(shù)：
型號(hào) | 特性 |
Park NX10 | 研究型的AFM |
Park NX20 | NX10針對(duì)大樣品的改進(jìn)版 |
Park XE7 | 經(jīng)濟(jì)型AFM |
Park XE15 | XE7針對(duì)大樣品的改進(jìn)版 |
Park NX10
世界上且易于使用的研究型原子力顯微鏡
在當(dāng)今激烈的競(jìng)爭(zhēng)中，研究人員考慮儀器。順應(yīng)市場(chǎng)需求，我們開發(fā)了ParkNX10，世界上且易于使用的原子力顯微鏡。
納米尺寸的高
的Z掃描儀和低噪音Z探測(cè)器可提供更的讀數(shù)
XY平臺(tái)曲型底座可消除傳統(tǒng)原子力顯微鏡中的彎曲效應(yīng)
世界上真正的非接觸式原子力顯微鏡，更長(zhǎng)時(shí)間保持針尖的尖銳
成像，友好的用戶界面，自動(dòng)針尖靠近，和10次快速掃描設(shè)置
產(chǎn)品參數(shù)
掃描器
| XY掃描器
| Z掃描器
| |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍：50μmX50μm（可 選10μmX10μm，100μmX100μm） 分辨率：0.05nm 定位檢測(cè)噪音：<0.25nm（帶寬：1kHz） 水平線性：<2nm（過(guò)40μm掃描）
| 柔性引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：15μm（可選30微 米） 分辨率：0.015nm 定位檢測(cè)噪音：0.03nm（波段寬 度：1kHz） 共振頻率：>9kHz（通 常10.5kHz） 表面成像噪音：<0.03nm（通 常0.02nm） | ||
光學(xué)系統(tǒng)
| 物鏡
| ||
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 視場(chǎng)：480X360μm（在10X物鏡下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 10x（0.21NA）長(zhǎng)工作范圍的鏡 頭（1μm分辨率） 20x（0.42NA）高分辨率長(zhǎng)工作 范圍鏡頭（0.6μm分辨率） | ||
電路系統(tǒng) | 信號(hào)處理 | 集成功能 | 外部信號(hào)介入 |
ADC：18個(gè)通道 4ADC通道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位傳感器的24bit ADCs DAC：12通道 2DAC信道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位的20bit DACs 數(shù)據(jù)大?。?096X4096像素 | 3通道數(shù)字鎖相放大器 熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù) 數(shù)碼Q控制 | 20個(gè)嵌入式信號(hào)輸 入/輸出端口 5個(gè)TTL輸出：EOF, EOL, E OP, Modulation 和AC bias | |
選項(xiàng)/模式 | 標(biāo)準(zhǔn)成像 | 化學(xué)性能 | 介電/壓電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探針的化學(xué)力 顯微鏡 電化學(xué)顯微鏡（EC-STM 和EC-AFM） | 靜電力顯微鏡（EFM） 動(dòng)態(tài)接觸式靜電力顯 微鏡（DC-EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 高電壓PFM | |
力測(cè)量 | 磁性能 | 光學(xué)性能 | |
力-距離（F-D）光譜 力-體積成像 | 磁力顯微鏡（MFM） 可調(diào)外加磁場(chǎng)MFM | 探針增強(qiáng)型拉曼光譜 （TERS） 時(shí)間分辨率的光電流 測(cè)繪（Tr-PCM） | |
電性能 | 機(jī)械性能 | 熱性能 | |
導(dǎo)電AFM I-V譜線 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM） 高電壓SKPM 掃描電容顯微鏡（SCM） 掃描電阻顯微鏡（SSRM） 掃描隧道顯微鏡（STM） 掃描隧道光譜（STS） 時(shí)間分辨的光電流測(cè)繪（Tr-PCM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 納米刻蝕 高電壓納米刻蝕 納米操縱 壓電力顯微鏡（PFM） | 掃描熱感顯微鏡 | |
樣品臺(tái) | 配件 | ||
樣品尺寸：50mmX50mm，20mm厚 樣品重量：500g XY臺(tái)工作范圍：20mmX20mm Z臺(tái)工作范圍：22mm 聚焦臺(tái)工作范圍：15mm | 電化學(xué)槽 控溫動(dòng)態(tài)液相槽 控溫樣品臺(tái) 磁場(chǎng)發(fā)生器 | ||
軟件 | Park SmartScan | NXI | |
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的軟件 實(shí)時(shí)調(diào)整反饋參數(shù) 通過(guò)外部程序（選項(xiàng)）進(jìn)行腳本級(jí)控制 | AFM數(shù)據(jù)分析軟件 |
Park NX20
強(qiáng)大、多功能、便于操作且適用于大樣品的杰子力顯微鏡
一般科學(xué)研究和工業(yè)研究人員像FA工程師等都希望取得的成果，儀器就不能出錯(cuò)。這就是為什么Park NX20作為世界上的大樣本原子力顯微鏡受到世界各地的研究人員和FA人士的高度評(píng)價(jià)。
為研究人員和FA實(shí)驗(yàn)室提供準(zhǔn)確的大樣本原子力顯微鏡
介質(zhì)和基底的表面粗糙度測(cè)量
缺陷成像和分析
高分辨率電子掃描模式
3D結(jié)構(gòu)邊墻測(cè)量
的原子力顯微鏡形貌和低噪聲Z探測(cè)器
產(chǎn)品參數(shù)
掃描器 | XY掃描器 | Z掃描器 |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍：100μmX100μm 50μmX50μm 10μmX10μm 20位位置控制和24位位置感應(yīng) | 柔性引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：15μm 30μm 20位位置控制和24位位置感應(yīng) | |
光學(xué)系統(tǒng) | 物鏡 | |
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 視場(chǎng)：840μmX630μm（在10X物鏡下） CCD：5M像素
| 10x（0.21NA）長(zhǎng)工作范圍的鏡頭 20x（0.42NA）高分辨率長(zhǎng)工作范圍鏡頭 | |
電路系統(tǒng) | 信號(hào)處理 | 集成功能 |
ADC：18個(gè)通道 4ADC通道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位傳感器的24bit ADCs DAC：12通道 2DAC信道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位的20bit DACs 數(shù)據(jù)大小：4096X4096像素 | 3通道數(shù)字鎖相放大器 熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù) 數(shù)碼Q控制 | |
選項(xiàng)/模式 | 標(biāo)準(zhǔn)成像 | 電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 掃描電容顯微鏡（SCM） 導(dǎo)電AFM 靜電力顯微鏡（EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 掃描開爾文探針顯微鏡SKPM | |
通用性能 | ||
磁力顯微鏡（MFM） 掃描熱顯微鏡（SThM） 力-距離（F-D）光譜 掃描隧道顯微鏡（STM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 高電壓納米刻蝕 納米刻蝕 納米操縱 | |
可選 | ||
樣品臺(tái) 控溫隔音罩 液體用探針 液體模塊 溫度控制臺(tái) 外部偏置模塊 信號(hào)接入模塊 | ||
樣品臺(tái) | 配件 | |
XY臺(tái)工作范圍：150mm（200mm可選） Z臺(tái)工作范圍：25mm 聚焦臺(tái)工作范圍：15mm 全軸精密編碼器（可選） | 電化學(xué)槽 控溫動(dòng)態(tài)液相槽 控溫樣品臺(tái) 磁場(chǎng)發(fā)生器 | |
樣品尺寸 | ||
150mm（200mm可選） 保存晶片樣品的真空槽 |
Park XE7
真正的低預(yù)算研究級(jí)原子力顯微鏡
無(wú)論考慮出事價(jià)格還是總成本，Park XE7無(wú)疑都是經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的研究級(jí)原子力顯微鏡之一。適合那些需要一個(gè)強(qiáng)大的研究型原子力顯微鏡或教學(xué)工具但預(yù)算吃緊的用戶。該儀器配備有park的招牌True Non-ContactTM模式，可以節(jié)省購(gòu)買探針的花費(fèi)。同時(shí)XE7易于升級(jí)，所以比起其他原子力顯微鏡，客戶可以使用更長(zhǎng)時(shí)間。
為預(yù)算緊張的研究提供高和多性能
消除串?dāng)_并提供更準(zhǔn)確的XY掃描
無(wú)需軟件后處理就可以得到的高度測(cè)量
樣品測(cè)量選項(xiàng)多
的SPM模式
業(yè)內(nèi)多的可選功能和升級(jí)選項(xiàng)
產(chǎn)品參數(shù)
掃描器 | XY掃描器 | Z掃描器 | |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍： 10μmX10μm 50μmX50μm 100μmX100μm
| 柔性引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：12μm 25μm
| ||
光學(xué)系統(tǒng) | 樣品尺寸 | ||
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 10X物鏡（可選20X） 視場(chǎng)：480X360μm（在10X物鏡下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 樣品尺寸：100mm 樣品高度：20mm | ||
電路系統(tǒng) | |||
DSP：600MHz with 4800MIPS 圖像尺寸：4096X4096像素，16個(gè)數(shù)據(jù)圖像 信號(hào)輸入：在500KHz取樣時(shí)，16位ADC的20個(gè)通道 信號(hào)輸出：在500KHz取樣時(shí)，16位ADC的21個(gè)通道 同步信號(hào)：圖像結(jié)束，線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號(hào) | 主動(dòng)Q控制 懸臂梁彈性常數(shù)校準(zhǔn)（選配） CE Compliant 電源：120W 信號(hào)處理模塊（選配） | ||
選項(xiàng)/模式 | 標(biāo)準(zhǔn)成像 | 化學(xué)性能 | 介電/壓電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探針的化學(xué)力顯微鏡 電化學(xué)顯微鏡（EC-STM 和EC-AFM） | 靜電力顯微鏡（EFM） 動(dòng)態(tài)接觸式靜電力 顯微鏡（DC-EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 高電壓PFM | |
力測(cè)量 | 磁性能 | 光學(xué)性能 | |
力-距離（F-D）光譜 力-體積成像 | 磁力顯微鏡（MFM） 可調(diào)外加磁場(chǎng)MFM | 探針增強(qiáng)型拉曼光譜 （TERS） 時(shí)間分辨率的光電流 測(cè)繪（Tr-PCM） | |
電性能 | 機(jī)械性能 | 熱性能 | |
導(dǎo)電AFM I-V譜線 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM） 高電壓SKPM 掃描電容顯微鏡（SCM） 掃描電阻顯微鏡（SSRM） 掃描隧道顯微鏡（STM） 掃描隧道光譜（STS） 時(shí)間分辨的光電流測(cè)繪（Tr-PCM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 納米刻蝕 高電壓納米刻蝕 納米操縱 壓電力顯微鏡（PFM） | 掃描熱感顯微鏡 | |
樣品臺(tái) | |||
XY臺(tái)工作范圍：13mmX13mm Z臺(tái)工作范圍：29.5mm 聚焦臺(tái)工作范圍：70mm | |||
軟件 | XEP | XEI | |
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的軟件 實(shí)時(shí)調(diào)整反饋參數(shù) 通過(guò)外部程序（選項(xiàng)）進(jìn)行腳本級(jí)控制 | AFM數(shù)據(jù)分析軟件 |
Park XE15
強(qiáng)大的多功能經(jīng)濟(jì)型大樣本原子力顯微鏡
Park XE15包括許多的功能，使其需要用原子力顯微鏡處理大量不同種類樣品的實(shí)驗(yàn)室和研究中心。其合理的價(jià)格和一系列強(qiáng)大的功能也是其成為性價(jià)比的原子力顯微鏡之一。
功能多樣而強(qiáng)大，專為納米研究和失效分析
的多樣品掃描減少了停機(jī)時(shí)間
200mmX200mm的大樣本尺寸提供了更多的可能性
具包容性的掃描模式組合可以適應(yīng)任何需要
適合公共實(shí)驗(yàn)室和用戶中心
掃描器 | XY掃描器 | Z掃描器 | |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍： 100μmX100μm
| 引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：12μm 25μm（可選）
| ||
光學(xué)系統(tǒng) | 樣品尺寸 | ||
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 10X物鏡（可選20X） 視場(chǎng)：480X360μm（在10X物鏡下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 樣品尺寸：200mm 樣品高度：20mm | ||
電路系統(tǒng) | |||
DSP：600MHz with 4800MIPS 圖像尺寸：4096X4096像素，16個(gè)數(shù)據(jù)圖像 信號(hào)輸入：在500KHz取樣時(shí)，16位ADC的20個(gè)通道 信號(hào)輸出：在500KHz取樣時(shí)，16位ADC的21個(gè)通道 同步信號(hào)：圖像結(jié)束，線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號(hào) | 主動(dòng)Q控制（選配） 懸臂梁彈性常數(shù)校準(zhǔn)（選配） CE Compliant 電源：120W 信號(hào)處理模塊（選配） | ||
選項(xiàng)/模式 | 標(biāo)準(zhǔn)成像 | 化學(xué)性能 | 介電/壓電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探針的化學(xué)力顯微鏡 電化學(xué)顯微鏡（EC-STM 和EC-AFM） | 靜電力顯微鏡（EFM） 動(dòng)態(tài)接觸式靜電力 顯微鏡（DC-EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 高電壓PFM | |
力測(cè)量 | 磁性能 | 光學(xué)性能 | |
力-距離（F-D）光譜 力-體積成像 | 磁力顯微鏡（MFM）
| 探針增強(qiáng)型拉曼光譜 （TERS） 時(shí)間分辨率的光電流 測(cè)繪（Tr-PCM） | |
電性能 | 機(jī)械性能 | 熱性能 | |
導(dǎo)電AFM I-V譜線 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM） 高電壓SKPM 掃描電容顯微鏡（SCM） 掃描電阻顯微鏡（SSRM） 掃描隧道顯微鏡（STM） 掃描隧道光譜（STS） 時(shí)間分辨的光電流測(cè)繪（Tr-PCM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 納米刻蝕 高電壓納米刻蝕 納米操縱 壓電力顯微鏡（PFM） | 掃描熱感顯微鏡 | |
附件 | 電化學(xué)模塊 普通溫控液體模塊 樣品溫控臺(tái) 磁場(chǎng)發(fā)生器 | ||
樣品臺(tái) | |||
XY臺(tái)工作范圍：150mmX150mm Z臺(tái)工作范圍：27.5mm 聚焦臺(tái)工作范圍：20mm，全自動(dòng)的 可重復(fù)XY定位的精密編碼器（選配） | |||
軟件 | XEP | XEI | |
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的軟件 實(shí)時(shí)調(diào)整反饋參數(shù) 通過(guò)外部程序（選項(xiàng)）進(jìn)行腳本級(jí)控制 | AFM數(shù)據(jù)分析軟件（可在Windows，MacOS，和Linux） |
