壓電物鏡掃描器
芯明天科技——壓電納米定位行業(yè)!產(chǎn)品定制服務(wù)我們更!每年參加展會(huì):LASER World of PHOTONICS CHINA慕尼黑上海光博會(huì)、北京光電周ILOPE、深圳光博會(huì)CIOE。
P72-壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器,內(nèi)置壓電陶瓷,閉環(huán)高,響應(yīng)速度快、滿行程線性度達(dá)納米量級(jí),可進(jìn)行激光聚焦,已廣泛應(yīng)用與晶圓切割、半導(dǎo)體及微電子加工領(lǐng)域。
特點(diǎn):
運(yùn)動(dòng)范圍100μm
定位達(dá)納米級(jí)
響應(yīng)速度可達(dá)毫秒級(jí)
直線運(yùn)動(dòng)無(wú)偏航
應(yīng)用:
晶圓切割 生物顯微 白光干涉 原子力顯微鏡 差動(dòng)聚焦檢測(cè)系統(tǒng) 顯微光學(xué)成像