Zeta3DTM測量系統(tǒng)

ZETA-300

基于ZDotTM點陣技術的3D光學輪廓儀

Zeta的ZDotTM點陣技術是測量各種復雜表面形貌的理想選擇，包括透明的多層結構、低反射率、低對比度、高粗糙度或高度落差很大的表面結構，除此之外，ZDot在測量高縱橫比的孔和溝時更是有著的效果。ZDotTM點陣技術提供了可能的光路設計，其Z向的光學測量是白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡所不能的。強大卓越的測量能力加之內(nèi)置集成的震設施以及精簡美觀的機械結構使得Zeta-300成為了研究及生產(chǎn)相關應用領域的解決方案。

多功能光學測量模組

Zeta-300測試系統(tǒng)提供多種光學測試技術，滿足用戶各種應用領域的測試需求：  

ZDotTM  Z點陣三維成像技術，是Zeta系列產(chǎn)品的標配技術，該技術結合背光和暗場照明以及各種規(guī)格的光學物鏡，使Zeta3D光學輪廓儀可以分析測量為“困難”的表面結構。

ZIC 干涉反襯成像技術，可對納米級粗糙度表面成像及測量。

ZSI  白光差分干涉技術，搭配任意物鏡可實現(xiàn)Z向埃級分辨率的測量能力。

ZX5 ，ZX100白光干涉技術，Z方向納米級分辨率的同時，提供大視野范圍內(nèi)的測量和統(tǒng)計分析。

ZFT  膜厚測試技術，集成光譜儀，通過擬合反射光譜測量薄膜厚度

應用領域

Zeta-300 測試系統(tǒng)支持多功能測試選項，根據(jù)客戶實際需求可配備不同的光學模組、載臺、樣品臺、照明系統(tǒng)及分析軟件。高和高重復性的設備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)理想的選擇。如下為實際應用舉例：
LED, PSS & 缺陷監(jiān)控

PSS 的尺寸、高度和周期

PR和AlN的厚度

AOI缺陷測試及分類

2寸、 4寸和6寸兼容吸真空載臺
微流體和MEMS器件結構分析

透明或半透明的多層結構分析

高縱橫比結構分析，如深溝壑結構等
可編程測試菜單及自動化掃描
靈活的硬件功能選項

暗場或背光照明系統(tǒng)

 金剛石劃線標記系統(tǒng)

6物鏡自動切換裝置

金剛線測量裝置

晶圓或光盤倒角測量裝置

長工作距離物鏡，折射率校正或浸沒式物鏡

……更多選項

技術規(guī)格

產(chǎn)品尺寸(mm)                                               

系統(tǒng) (長X寬X高)：813 x 940 x 1550 電壓: 100 - 230 VAC

顯示器：559 x 127 x 407    電流: 4A

總重量：360lbs/164 kg     工作溫度: 18-30oC，非冷凝，                                                ±1oC 每小時

性能配置

3D 成像:                     ~ 1 秒/點 (ZIC)
                                       ~ 10 秒/點 (ZSI)
                                       ~ 30 秒/點 (ZDot)

像素分辨率:             0.09 μm (0.5x耦合鏡 + 100x物鏡)

小Z軸步距:          2 nm (壓電陶瓷傳動)
                                      13 nm (精密絲杠傳動)

Z軸分辨率：            0.1? (ZSI)

                                      13 nm (ZDot)

重復性3：               ±15 nm (1σ)3  （或±1%）

系統(tǒng)配置

相機選項：            640x480, 1024x768, 1280x960

                                  1920x1440

總放大率：           35,000x (光學和數(shù)字放大)

系統(tǒng)光源：           2個大功率白光LED

自動載臺：          200mm x 200mm (XY 方向)

Z軸測試范圍：    40mm標配（100mm可選）