德國EdgeWave公司創(chuàng)建于2001年, 是高端激光器產(chǎn)品的供應(yīng)商。EdgeWave是世界技術(shù)InnoSlab技術(shù)的先驅(qū)和當(dāng)今世界這個新激光技術(shù)領(lǐng)域的者。InnoSlab 激光憑借其量、高脈沖頻率、高光束質(zhì)量和它的杰出特征—高度靈以及優(yōu)化定制光束分布, 已經(jīng)成為現(xiàn)代激光器中效的加工手段。它能幫助使用者完善現(xiàn)有的加工工藝以及不斷地開拓新的生產(chǎn)領(lǐng)域和新加工方法。
InnoSlab短脈沖和短脈沖激光器標準產(chǎn)品包括以下各種電光調(diào)Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介質(zhì), 具有不同的脈沖能量、輸出功率和波長:
· 
光束質(zhì)量: M2 < 2
· 脈沖能量可 60mJ
· 脈寬可 4ns以下
· 峰值功率可 7MW
· 脈沖重復(fù)頻率可到 150 kHz
· 平均功率可達 600W
· 波長 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的一個與眾不同的杰出特性在于其光束形狀可量身定制: 從圓形高斯模式到一維線狀平頂以及兩維方形平頂?shù)鹊取?/span>
納秒激光器應(yīng)用領(lǐng)域：
· 光伏行業(yè)，例如硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導(dǎo)電層和緣層的燒蝕
· 顯示領(lǐng)域，如導(dǎo)電層的織構(gòu)化和玻璃切割
· 玻璃工業(yè)，如微鉆孔和亞表面內(nèi)雕
· 電子工業(yè)，例如對印刷電路板的切割和鉆孔
· 工具制造和機械工程，如三維燒蝕快速成形
面板切割 微結(jié)構(gòu)加工 航空材料加工
納秒激光器技術(shù)參數(shù)
型號 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波長（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束質(zhì)量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
重頻頻率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
單脈沖能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
小脈寬（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量穩(wěn)定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠場）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
發(fā)散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
預(yù)熱時間（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
