真空手套箱露點儀

目前半導(dǎo)體、精密電子等企業(yè)采用的除濕干燥方式總體分為兩種：一種是整體除濕、一種是針對手套箱的除濕!

　　整體除濕方案是面向整個生產(chǎn)區(qū)域各個環(huán)節(jié)都進(jìn)行濕度的控制，根據(jù)不同工位的要求配比輸送不同干燥程度的干燥氣，進(jìn)而選取不同的除濕干燥設(shè)備。倉儲和車間一般都選用冷凍除濕機就可滿足要求，手套箱選用轉(zhuǎn)輪除濕機或更低露點的組合除濕干燥機。整體除濕能根據(jù)不同要求對生產(chǎn)各個環(huán)節(jié)的濕度進(jìn)行控制，是比較全面穩(wěn)定的除濕方案，能在程度上保證工藝要求，保證產(chǎn)品質(zhì)量!但整體除濕系統(tǒng)龐大、前期投入較大，小型企業(yè)投資有難度!

　　小型電子企業(yè)一般都會選擇針對真空手套箱的除濕方式，一般都采用外購高純氣體吹掃手套箱，保證箱體露點!這種方式設(shè)備單一，工藝簡單，投資小。但其它環(huán)節(jié)的濕度控制得不到保證!

真空手套箱露點儀技術(shù)參數(shù)

測量范圍                      Td          -100……+20℃（可選）

露點                      Td                 ≤ ±2℃

輸出　　　　　　　　　　　　　4～20MA    (-100……+20℃)

供電方式                        220V AC  5A

探頭保護(hù)                               聚四氟乙烯材料

儲存溫度等級                               -40……+70℃

響應(yīng)時間      氣體溫度：20℃  流速：4-5L/min 壓力:1bar

+20→-40℃                     Td          5s~45s

-40→-60℃                      Td         10s~240s

操作環(huán)境                                   - 10……+70℃

相對濕度                                   0…90%RH

壓    力                                   0.1……30MPA（可選）