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,BURKERT傳感器產(chǎn)品代碼
響應(yīng)時(shí)間極短，只有幾百毫秒。此外，該傳感器的結(jié)構(gòu)確保其不易受污染物的影響。
的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間，且靈敏度高，即使流量很小時(shí)也是如此。
一個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內(nèi)；另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。這
電阻連接成一個(gè)測(cè)量電橋。氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT) 測(cè)量介質(zhì)溫度，另一個(gè)低阻值電阻
不斷被加熱，使其與介質(zhì)溫度（由 RT 測(cè)得）之間始終保持一個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電
用于測(cè)量流過(guò)該氣體通道的氣體流量。MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測(cè)得的質(zhì)量流量非常
Response time is very short, only a few hundred milliseconds. Further, the .
。由于加熱電阻和測(cè)量電阻都直接位于氣體通道內(nèi)，所以當(dāng)設(shè)定值或?qū)嶋H值變化時(shí)，該傳感
管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差，使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜
structure of the sensor to ensure that its less susceptible to contamination
的硅芯片，用于測(cè)量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù)，在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對(duì)稱的
溫度傳感器（分別位于上游和下游）。如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度，則兩個(gè)溫度傳感器的
,BURKERT傳感器產(chǎn)品代碼
