特點(diǎn)：

1、探針臺(tái)溫度變化范圍：-175℃ ~ 300℃，連續(xù)變溫?zé)o節(jié)點(diǎn)。
2、探針臺(tái)進(jìn)行“低溫冷卻”及“高溫加熱”無(wú)須更換腔體，用戶可以自如操控探針臺(tái)從液氮低溫段至300攝氏度的高溫段，變溫而且操作簡(jiǎn)便。
3、真空腔體有的空間，用戶更容易進(jìn)行顯微鏡、針座或電學(xué)設(shè)備的調(diào)整。
4、石英玻璃視窗，用戶可以透過(guò)視窗觀察腔體內(nèi)部配置及樣品狀況。
5、的互交連接器技術(shù)，使真空探針臺(tái)更易于應(yīng)用于直流及射頻信號(hào)(DC & RF)，同時(shí)有助于溫度顯著變化調(diào)節(jié)下(Min: -175℃, Max:300℃)的光學(xué)及電學(xué)設(shè)備調(diào)整。
6、高定位螺旋系統(tǒng)；
7、樣品盤(pán)：多可以放置10套針座；
8、樣品盤(pán)彈性構(gòu)造設(shè)計(jì)：針座Z軸移動(dòng)時(shí)，樣品盤(pán)彈性構(gòu)造可以保護(hù)樣品及探針尖；
9、顯微鏡高兼容性，可以配置高分辨的顯微鏡及CCD系統(tǒng)；

技術(shù)參數(shù)：

1、探針臺(tái)基座、樣品盤(pán)及變溫系統(tǒng)
- 材料：銅；
- 尺寸：4英寸；
- 樣品盤(pán)移動(dòng) (X:20mm Y:20mm)
- 溫度控制系統(tǒng)，包括測(cè)量及顯示系統(tǒng)
- 溫度范圍：-175℃ ~ 300℃ (低溫使用LN2杜瓦及LN2管等低溫附件)；
2、真空腔體：
- 尺寸：650*500*350；
- 互交通道(3EA, 支持6P連接器)；
- 觀察視窗(240mm, 耐熱玻璃視窗)；
3、“Y”– 移動(dòng)驅(qū)動(dòng)器， “Z”– 移動(dòng)驅(qū)動(dòng)器；
4、X*Y移動(dòng)平臺(tái) 移動(dòng)范圍：20*20mm， 分辨率：10um， 重現(xiàn)性：1um；
5、針座：
- 磁體固定，Adopted Plate Spring；
- 移動(dòng)范圍：X-Y-Z 10-10-10 mm；
- BNC/Triaxal電纜；
- 針座螺旋分辨率：10um/pitch，重現(xiàn)性：1um；
- 尺寸：70*28 mm；
6、Navitar zoom lens system 光學(xué)鏡頭系統(tǒng)；
7、真空泵：
- 400升/分鐘；
- 油過(guò)濾器，真空夾鉗，波紋管等真空附件；
8、探針：
- 材料: tungsten,
- Radius: 0.02”(Variable Radius: 
9、LN2杜瓦：15 L/min, 包括壓力控制器；
10、真空連接器；
11、選配的數(shù)字CCD相機(jī)：
- 控制軟件，數(shù)字相機(jī)與顯微鏡兼容；
- 成像傳感器：1/2” 彩色CCD；
- 分辨率：1.4Megapixel Camera(1280*1024)；
- 裝配類型：C-Mount類型；
- 軟件提供：U2.0；