MTI AS-500納米級(jí)電容式傳感器
高分辨率：納米級(jí)響應(yīng)頻率：5KHz
特性：
AS-500是具有、穩(wěn)定性、重復(fù)性和分辨率的電容式傳感器。其反應(yīng)速度快，噪聲干擾小，是檢測(cè)轉(zhuǎn)軸、磁盤、輪胎及晶圓的理想選擇。
AS-500價(jià)格經(jīng)濟(jì)、功能強(qiáng)！具備納米分辨率,重量輕、體積小、可隨身攜帶，操作快速簡(jiǎn)便。
應(yīng)用范圍：
AS-500適于半導(dǎo)體、磁盤驅(qū)動(dòng)器、機(jī)械用具、電子工業(yè)
●位移、●厚度、●同軸度、●振動(dòng)、●尺寸大小、●平坦度、
●內(nèi)外徑、●發(fā)動(dòng)機(jī)動(dòng)能
放大器規(guī)格：
特點(diǎn) | AS-9000 | AS-500 | MicroCap |
通道數(shù) | 多 2通道 | 多6通道 | 1通道 |
1測(cè)量范圍 | 0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.) | ||
2分辨率(%滿量程) RMS | 0.001% | ||
3(%滿量程) | ± 0.02% | ||
頻率響應(yīng) | 標(biāo)準(zhǔn)的濾波器模塊有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz) | 可選組件 | |
溫度穩(wěn)定性 | ± 0.01% FSR/ °C | ||
模擬輸出 0-10 Vdc | BN | BN | 歐洲標(biāo)準(zhǔn)螺絲端子 |
輸出阻 | 50 | ||
電力需求
| 85到265 Vac
47到 440Hz | 85到 265 Vac 47到 440 Hz 可選12 Vdc |
± 15 Vdc
|
求和放大器 | 標(biāo)準(zhǔn)的雙通道單位 | 插板卡式 | 沒(méi)有 |
操作溫度 | 4 to 38°C | ||
尺寸 | 240x160x50mm | 175x140x340mm | 150x60 x13mm |
重量 | 2.3 kg | 4.6 kg | 0.11 kg |
標(biāo)準(zhǔn)探頭規(guī)格：(單位：mm)
測(cè)量范圍 | 50Hz RMS時(shí)的分辨率 | 的量程擴(kuò)大倍數(shù)1 | 5kHz RMS時(shí)的分辨率 | 探頭感測(cè)直徑 | 探頭直徑 | 探頭長(zhǎng)度 | |
產(chǎn)品型號(hào) | μm | nm | nm | mm | mm | mm | |
ASP-25M-R | 25 | nm | 10x | 1.5 | 1.09 | 9.49 | 25.5 |
ASP-25M-ILR | 26 | nm | 9x | 2.5 | 2.09 | 10.49 | 26.5 |
ASP-25M-A | 27 | nm | 10x | 3.5 | 3.09 | 11.49 | 27.5 |
ASP-25M-ILA | 28 | nm | 9x | 4.5 | 4.09 | 12.49 | 28.5 |
ASP-50M-R | 29 | nm | 9x | 5.5 | 5.09 | 13.49 | 29.5 |
ASP-50M-ILR | 30 | nm | 4x | 6.5 | 6.09 | 14.49 | 30.5 |
ASP-50M-A | 31 | nm | 9x | 7.5 | 7.09 | 15.49 | 31.5 |
ASP-50M-ILA | 32 | nm | 4x | 8.5 | 8.09 | 16.49 | 32.5 |
ASP-125M-R | 33 | nm | 10x | 9.5 | 9.09 | 17.49 | 33.5 |
ASP-125M-ILR | 34 | nm | 2x | 10.5 | 10.09 | 18.49 | 34.5 |
ASP-125M-A | 35 | nm | 10x | 11.5 | 11.09 | 19.49 | 35.5 |
ASP-125M-ILA | 36 | nm | 2x | 12.5 | 12.09 | 20.49 | 36.5 |
ASP-250M-R | 37 | nm | 9x | 13.5 | 13.09 | 21.49 | 37.5 |
ASP-250M-ILR | 38 | nm | 2x | 14.5 | 14.09 | 22.49 | 38.5 |
ASP-250M-A | 39 | nm | 3x | 15.5 | 15.09 | 23.49 | 39.5 |
ASP-250M-ILA | 40 | nm | 2x | 16.5 | 16.09 | 24.49 | 40.5 |
ASP-500M-R | 41 | nm | 3x | 17.5 | 17.09 | 25.49 | 41.5 |
ASP-500M-ILR | 42 | nm | 2x | 18.5 | 18.09 | 26.49 | 42.5 |
ASP-500M-A | 43 | nm | 4x | 19.5 | 19.09 | 27.49 | 43.5 |
ASP-500M-ILA | 44 | nm | 2x | 20.5 | 20.09 | 28.49 | 44.5 |
ASP-1250M-ILR | 45 | nm | 2x | 21.5 | 21.09 | 29.49 | 45.5 |
ASP-1250M-A | 46 | nm | 2x | 22.5 | 22.09 | 30.49 | 46.5 |
ASP-1250M-ILA | 47 | nm | 2x | 23.5 | 23.09 | 31.49 | 47.5 |
ASP-2500M-R | 48 | nm | 2x | 24.5 | 24.09 | 32.49 | 48.5 |
ASP-2500M-ILR | 49 | nm | 2x | 25.5 | 25.09 | 33.49 | 49.5 |
ASP-2500M-A | 50 | nm | 2x | 26.5 | 26.09 | 34.49 | 50.5 |
ASP-2500M-ILA | 51 | nm | 2x | 27.5 | 27.09 | 35.49 | 51.5 |
ASP-5000M-R | 52 | nm | 2x | 28.5 | 28.09 | 36.49 | 52.5 |
ASP-5000M-ILR | 53 | nm | 2x | 29.5 | 29.09 | 37.49 | 53.5 |
ASP-5000M-A | 54 | nm | 2x | 30.5 | 30.09 | 38.49 | 54.5 |
ASP-5000M-ILA | 55 | nm | 2x | 31.5 | 31.09 | 39.49 | 55.5 |
產(chǎn)品型號(hào) | ASP-25M-PSR | ASP-50M-PSR | ASP-500M-PSR | ASP-1250M-PSR | ASP-2500M-PSR | ASP-5000M-PSR |
μm | 25 | 50 | 500 | 1250 | 2500 | 5000 |
小測(cè)量范圍 μm | 1.27 | 2.54 | 25.4 | 63.5 | 127 | 254 |
nm | 0.039 | 0.079 | 0.785 | 1.963 | 3.926 | 7.852 |
測(cè)量范圍 | 9x | 4x | 2x | 2x | 2x | 2x |
nm | 0.137 | 0.274 | 2.745 | 6.864 | 13.728 | 27.457 |
E mm | 1.09 | 1.55 | 4.98 | 7.98 | 11.25 | 15.93 |
L mm | 7.5 | 7.7 | 10.2 | 18 | 29.75 | 42.5 |
W mm | 8 | 8 | 8 | 13.9 | 25.4 | 38 |
T mm | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 |
溫度范圍：
標(biāo)準(zhǔn)探頭： -130℃～200℃
高溫探頭： -130℃～650℃
： +/-0.1% 滿量程
電纜長(zhǎng)度：標(biāo)準(zhǔn)電纜長(zhǎng)度為2.7米，可以定制其他規(guī)格
壓力范圍：
標(biāo)準(zhǔn)-200psig
高壓-20000psig附：電容位移傳感器的分辨率（resolution）計(jì)算方法感度（sensitivity）=量程（range）/10V(full scale voltage)
噪音=1mv*開更號(hào)（Fr/500)(Fr為所選擇的濾波器頻率 )
分辨率(resolution)=感度（sensitivity）×噪音(noise)注意：Fr的選擇要稍大于被測(cè)物實(shí)際振動(dòng)頻率
濾波器頻率(Frequency Response filter) | 噪音(Noise in mVp-p) |
10HZ | 0.150mv |
50HZ | 0.316mv |
100HZ | 0.447mv |
500HZ | 1.000mv |
1KHZ | 1.400mv |
2KHZ | 2.000mv |
5KHZ | 3.200mv |
10KHZ | 4.500mv |
20KHZ | 6.300mv |
