臺(tái)階儀                    

                        厚度47nm光柵標(biāo)準(zhǔn)樣品,三次重復(fù)測(cè)量結(jié)果(減噪修正，原始數(shù)據(jù)輸出）

NanoMap-PS是一款專門為nm級(jí)薄膜測(cè)量研發(fā)的無(wú)需震臺(tái)即可測(cè)量的接觸式臺(tái)階儀

•    AFM位移傳感器，

•    壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描，無(wú)內(nèi)源振動(dòng)

•    自集成主動(dòng)反饋式震系統(tǒng)

•    真正無(wú)需額外輔助震系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性納米測(cè)量

•   納米量級(jí)科學(xué)研究的備產(chǎn)品
  

NanoMap-PS 臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽(yáng)能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺(tái)階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量方面。其高，高重復(fù)性，自動(dòng)探索樣品表面，自動(dòng)測(cè)量深受廣大客戶歡迎。

測(cè)量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對(duì)于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測(cè)量無(wú)須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產(chǎn)品的。垂直分辨率可達(dá)0.1nm 。 可測(cè)表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料，金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒等；
  

AEP的技術(shù)日新月異。 欲了解新的產(chǎn)品性能參數(shù)，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
  
主要參數(shù) :  

垂直分辨率             0.1nm

垂直量程         1000um
探針接觸力             0.03mg-100mg

平臺(tái)范圍                 直徑150毫米（可選200毫米或更大）
高清圖像                  4級(jí)放大，彩色CCD
成像光源                  雙長(zhǎng)壽命強(qiáng)光LED

金剛石探針               0.5um 到 25um 可選

電話：+86-

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XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100,200,250,500)；α-step P6；α-step P16+(P1,P2,P10,P11,P11,P15)；α-step P16+0F；  KLA-Tencor公司

光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀/ 移相干涉儀)；MicroXam 100；MicroXam 1200