chuck尺寸800mm/600mm

　X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm

    chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

    可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

　針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆

　顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

　可搭配Probe card測(cè)試

   適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

 手動(dòng)探針臺(tái)主要用途： 應(yīng)用于生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的參數(shù)等

一、機(jī)器的組成

    本機(jī)器由三大部分組成如圖1所示：

圖1機(jī)器組成

1、探針臺(tái)主體，2、探針和打點(diǎn)器，3、顯微鏡及環(huán)形燈。

二、功能介紹

    本手動(dòng)探針臺(tái)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是以右方臺(tái)面手柄的移動(dòng)控制被測(cè)試芯片的移動(dòng)，以左方旋鈕的旋轉(zhuǎn)控制芯片的高度和旋轉(zhuǎn)。

1、技術(shù)性能指標(biāo)：

測(cè)試芯片尺寸：4英寸。

片臺(tái)X軸、Y軸行程各是110mmm。

片臺(tái)Z軸高度行程6mm。

配置 4～100倍體式顯微鏡，具有環(huán)行燈照明裝置。

配備6個(gè)探針架。

具有手動(dòng)打點(diǎn)功能，配備1個(gè)打點(diǎn)器。

2、各部件動(dòng)能介紹 

※探針臺(tái)主體結(jié)構(gòu)如圖2所示，

圖2：探針臺(tái)主體結(jié)構(gòu)

1底座、2承片臺(tái)、3片臺(tái)移動(dòng)手柄、4探針和打點(diǎn)器安裝盤(pán)、5顯微鏡支架、6片臺(tái)高度手柄、7片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪、8、真空接口

各部功能介紹：

底座—是機(jī)器的基礎(chǔ)，承片臺(tái)、移動(dòng)機(jī)構(gòu)等都裝在其上。

承片臺(tái)—用來(lái)放置被測(cè)試的芯片。

片臺(tái)移動(dòng)手柄—在底座上移動(dòng)此手柄就可以使承片臺(tái)沿X軸、Y軸移動(dòng)，移動(dòng)范圍在110mm內(nèi)。

探針架和打點(diǎn)器安裝盤(pán)—用來(lái)安裝探針架和打點(diǎn)器的固定盤(pán)狀物。

顯微鏡支架—用來(lái)安裝顯微鏡的固定架，它上面有兩個(gè)鎖緊手柄和一個(gè)調(diào)節(jié)螺釘，用來(lái)調(diào)節(jié)顯微鏡的位置。

片臺(tái)高度手柄—旋轉(zhuǎn)此手柄，承片臺(tái)即上下移動(dòng)，范圍是6mm。

片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪—轉(zhuǎn)動(dòng)手輪，片臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度。范圍是±30°。

電器接口—供打點(diǎn)器、環(huán)形燈工作的電器插座。具體如圖3所示。

圖3：電器插座

1、220V電源輸入 2、環(huán)形燈接口  3、打點(diǎn)器接口 4、24V輸入

※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示，它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點(diǎn)器架的結(jié)構(gòu)相同。

圖4：探針架結(jié)構(gòu)

1、固定鎖鈕  2、前后調(diào)節(jié)鈕 3、左右調(diào)節(jié)鈕 4、上下調(diào)節(jié)鈕5、探針

※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示，它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點(diǎn)器架的結(jié)構(gòu)相同。

圖5、打點(diǎn)器結(jié)構(gòu)

1、墨盒2、打點(diǎn)線3、頂緊螺釘4、限位螺母5、定位螺母

※顯微鏡及環(huán)形燈

    本機(jī)配備體式顯微鏡，顯微鏡的變倍倍率是4～100倍，物距100mm。詳細(xì)參見(jiàn)顯微鏡的說(shuō)明。

    本機(jī)配備環(huán)形照明燈，220V 8W。

三、使用方法

1、測(cè)試準(zhǔn)備

（1）根據(jù)待測(cè)芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個(gè)數(shù)，將探針架安裝在固定盤(pán)上。

（2）將要測(cè)試的半導(dǎo)體芯片放在承片臺(tái)上?？梢赞D(zhuǎn)動(dòng)左手下部旋鈕使圖形對(duì)在垂直位置。

（3) 在顯微鏡下校對(duì)探針的位置，使之對(duì)準(zhǔn)在芯片單元相應(yīng)的焊點(diǎn)上，針尖的高度一致。同時(shí)檢查測(cè)試連線使之接好。

（4）打點(diǎn)器安裝在固定盤(pán)上，并對(duì)位在同一個(gè)芯片單元圖形內(nèi)，插頭接在機(jī)器相應(yīng)的插座上。

（5）將環(huán)形燈接頭插在相應(yīng)的插口上（也可直接插在220V電源上）。

（6）將電源線插到220V電源上。 

2、測(cè)試過(guò)程

（1）右手移動(dòng)工作臺(tái)上的受柄，在顯微鏡下觀察探針對(duì)位到要測(cè)試的芯片單元圖形的相應(yīng)焊點(diǎn)上。

（2）對(duì)好位置后，左手順時(shí)針旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部的旋鈕使承片臺(tái)向上移動(dòng)，針和芯片的焊點(diǎn)接觸，觀看測(cè)試儀輸出信號(hào)，判斷芯片是否合格。（3）有不合格的芯片單元時(shí)，右手按動(dòng)手柄上部的按鈕，打點(diǎn)器打點(diǎn)在該芯片單元上，合格的不用打點(diǎn)。然后，逆時(shí)旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部旋鈕承片臺(tái)下移。進(jìn)入下一個(gè)芯片單元的測(cè)試 。如果芯片圖形位置不垂直，轉(zhuǎn)動(dòng)左手下部手輪調(diào)直，如此往復(fù)，完成整個(gè)芯片單元的測(cè)試。

    本機(jī)也可測(cè)試單個(gè)或多個(gè)芯片。

3、測(cè)試完成

（1）將測(cè)試后的芯片從承片臺(tái)上取下。

（2）安裝下一個(gè)要測(cè)試的芯片，如芯片單元圖形與上測(cè)試的相同，不用動(dòng)針的位置。繼續(xù)測(cè)試。如不同要重新校對(duì)探針位置后再開(kāi)始測(cè)試。

（3）整個(gè)測(cè)試完成后，把電源線從220V插座上拔掉，保證安全。

四、注意事項(xiàng) 

1、顯微鏡光學(xué)鏡頭注意保養(yǎng)，防潮、防震、防塵。

2、承片臺(tái)表面不要?jiǎng)潐骸?/span>

3、上移承片臺(tái)時(shí)注意不要讓探針碰到承片臺(tái)上，防止探針尖部損壞。

4、打點(diǎn)器墨盒要經(jīng)常清理，防止堵塞，特別是長(zhǎng)時(shí)間不用時(shí)要清洗掉殘留墨汁。

附件：設(shè)備清單

1、探針臺(tái)主機(jī)------------1套

2、探針架加探針----------6套

3、打點(diǎn)器----------------1套

4、體式顯微鏡------------1套

5、環(huán)形燈----------------1個(gè)

6、220V-24V開(kāi)關(guān)電源-----1個(gè)