一、ZX-12ZGL型分子泵管式爐真空泵選型及技術(shù)參數(shù)

01 爐體尺寸 φ100×600
02 極限真空度 ＜8.0×10-4pa
＜6.0×10-6torr 無爐膽空載狀態(tài)
03 機組使用真空度 ＜1.0×10-3pa
＜7.5×10-6torr
04 機組有效抽速 600L/S 分子泵
05 前級泵抽速 6L/S TRP-24
06 抽氣口法蘭 LF160
07 啟動時間 小于8min
08 到達使用真空度所需時間 ≤2h
09 冷卻方式 水冷 水溫＜25℃
10 總功率 約3kw
11 電 源 220V/380V 50HZ
二、真空系統(tǒng)說明
1、真空系統(tǒng)為分子泵機組：即為分子泵+旋片泵,FF160+TRP-24；由分子泵、旋片真空泵、充氣閥、高真空檔板閥（主閥）、高真空檔板閥（預抽閥）、高真空檔板閥（出口閥）、前級管路充氣閥、連接管路、密封圈、復合真空計及配電柜等組成的抽氣系統(tǒng)。
2、本機組不適宜抽除對金屬有腐蝕作用和對泵油起化學反應(yīng)的氣體。它可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實驗裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得裝置。工作環(huán)境溫度5~40℃，相對濕度不大于85%，冷卻水溫度25℃+5℃。
3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內(nèi)部材料（爐體內(nèi)壁、實驗器件、熱沉等）的放氣量有關(guān)，本機組的極限壓力為5.0×10-4pa（3.75×10-6torr）,帶空爐體無負載極限壓力為8.0×10-4pa（6.0×10-6torr），實際加溫時的使用壓力為1.0×10-3pa（7.5×10-6torr），抽氣時間約為2小時。
4、分子泵不能單獨形成抽氣，必須由前級泵將系統(tǒng)壓力降低至擴散泵要求啟動的壓力之內(nèi)，一般為≤10pa（7.5×10-2torr），本機組前級采用旋片TRP-24。
5、為了防止前級泵中的真空油在停泵時返流入擴散泵泵腔內(nèi)，必須在前級真空的進氣口配電磁閥，在停泵時自動將系統(tǒng)管路隔離。
6、閥門均采用氣動動方式，操作方便。
7、在開始抽氣時 ,此系統(tǒng)中設(shè)置有預抽管路,被抽氣體不經(jīng)過分子泵而由前級泵直接抽出,這樣做可避免被抽容器中氣體對擴散泵的污染（水分、揮發(fā)物、雜質(zhì)），待被抽容器壓力降低至10pa（7.5×10-2torr）時,關(guān)閉預抽閥、開啟擋板閥,分子泵開始對被抽容器開始正常抽氣。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
指 標 值
設(shè)計功率 12KW
額定電壓 380V
設(shè)計溫度1200℃
工作溫度 1100℃
升溫速率 ≤0.1-15 ℃/min （自由調(diào)節(jié)）
加熱區(qū) 600mm
恒溫區(qū) 400mm
控溫區(qū) 1區(qū)
爐管材質(zhì) 高純石英管
爐管直徑 Φ100mm
控溫 ±1℃
控溫方式 可控硅移相調(diào)壓+智能PID調(diào)節(jié)+程序升降溫
熱電偶型號 S型 雙鉑銠
加熱元件 U型硅碳棒
重量 約240Kg
爐膛材料 氧化鋁纖維
爐殼表面溫度 ≤42℃
密封方式 雙硅橡膠圈，不銹鋼金屬法蘭
隨機附件 硅碳棒2支、O型硅橡膠圈4個、隔熱塞4個、不銹鋼鉤1把、耐火手套1雙、高溫手套1副