Granville-Phillips 835VQM（真空質(zhì)量監(jiān)控儀）分壓泵系統(tǒng)
Granville-Phillips的分壓泵系統(tǒng)是獲獎(jiǎng)的真空質(zhì)量監(jiān)控儀（VQMTM）的真空壓力范圍擴(kuò)展產(chǎn)品。其具有VQM的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，包括響應(yīng)速度快和使用便捷，可用于工藝監(jiān)測(cè)和工藝控制。
835分壓泵系統(tǒng)（DPS）提供了許多實(shí)時(shí)信息，可用來優(yōu)化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程，從而產(chǎn)能、效果并節(jié)約資金。
835VQM DPS典型應(yīng)用包括：
監(jiān)控反應(yīng)氣體
確定工藝初始狀態(tài)
檢測(cè)污染物
控制反應(yīng)氣體注入量
檢測(cè)泄漏
835VQM DPS產(chǎn)品特點(diǎn)：
工作壓力從3Torr到5x10-9Torr
在85毫秒內(nèi)完成質(zhì)量數(shù)從1到145的氣體分壓力測(cè)量；并可提供1到300質(zhì)量數(shù)范圍的測(cè)量
可提供所識(shí)別的個(gè)比例的氣體成分的即時(shí)信息包括趨勢(shì)圖
的氫氣和氦氣檢測(cè)（無低質(zhì)量數(shù)成分測(cè)量分壓全壓現(xiàn)象）
85毫秒內(nèi)完成1到145質(zhì)量數(shù)樣本數(shù)據(jù)的記錄；120毫秒內(nèi)完成1到300質(zhì)量數(shù)樣本記錄
可利用真空系統(tǒng)內(nèi)已有氣體進(jìn)行單一氣體校準(zhǔn)
緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可靈活安裝
835VQM DPS標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)配置
整個(gè)835 DPS系統(tǒng)以下組件
835VQM分壓計(jì)
390802Micro-lon全壓計(jì)
帶孔板的節(jié)流閥
分子泵
粗抽泵帶喉管
內(nèi)部連接電纜線
VQM控制器
VQM瀏覽軟件
