一.激光干涉儀概述

激光具有度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。

二.激光干涉儀應(yīng)用

（1）幾何檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位、重復(fù)定位、微量位移等。利用中圖SJ6000激光干涉儀不能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差，而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床，另外操作者無(wú)需具床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。

（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在，利用SJ6000激光干涉儀加上轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量，其達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸曲線，知曉其的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

（4）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè) 利用CHOTT動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等

三.激光干涉儀使用注意事項(xiàng)

1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。

2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。

3、儀器的光學(xué)件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以發(fā)霉。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。

5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。

6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。

7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。

四.激光干涉儀維護(hù)說(shuō)明

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，振動(dòng)，儀器搬動(dòng) 時(shí)，應(yīng)托住底座，以導(dǎo)軌變形。 　 

2、光學(xué)件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和混合液輕拭。

3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤(rùn)滑。

4、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過(guò)精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。

五.中圖SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

      系統(tǒng)性能

2  測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

2  穩(wěn)頻：0.05ppm

2  動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

2  預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

2  工作溫度范圍：0~40℃

2  環(huán)境溫度范圍：0~40℃

2  存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

2  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

2  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測(cè)量

2  測(cè)量距離：0-40m

2  測(cè)量：0.5ppm (0-40℃)

2  測(cè)量分辨率：1nm