儀器用途:主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、LCD液晶屏檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域,可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素?zé)?、光纖照明,可以配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤、成像系統(tǒng),可以對(duì)應(yīng)多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。
儀器主體參數(shù):
儀器型號(hào):YVM-10080CNC
測(cè)量范圍:1000*800*200mm
測(cè)量(X.Y):3+L/1000
測(cè)量(Z):3+L/300
重復(fù):≤2um