MKS 是的生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一,其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、LED、光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和成像設(shè)備。MKS前瞻性的開發(fā),推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于技術(shù)。MKS的電源、測(cè)量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù),了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率,了產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。MKS產(chǎn)品起源于我們的壓力和流量測(cè)量與控制技術(shù),延伸到材料遞送、氣體成份分析、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。
MKS 擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源,無(wú)論是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)管理還是客戶支持服務(wù),快速滿足客戶的各種需求。MKS主要提供有:氣體壓力及流量測(cè)量與控制、射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具、氟原子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器、真空產(chǎn)品、氣體分析儀及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。
Cirrus? 2 四質(zhì)譜儀。 工作在大氣壓力下的桌上型四質(zhì)譜儀,可用于在線測(cè)量和分析氣體及氣體組成。