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FSG 系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 小流量氣體傳感器均采用（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作。產(chǎn)品適用于各類清潔氣體的應(yīng)用。的封裝技術(shù)使之可應(yīng)用于各類管徑（3～50mm）。成本低、易安裝、不需溫壓補(bǔ)償，可替代容積式或壓差原理的傳統(tǒng)流量計(jì)并可配以多種信號(hào)輸出，通過(guò)通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能。 產(chǎn)品特點(diǎn) 傳感器靈敏度搞，小的始動(dòng)流量 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度及壓力補(bǔ)償，保障了傳感器的高計(jì)量 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大 8～24V供電 傳感器點(diǎn)穩(wěn)定度較傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)有大的 結(jié)合二次儀表的微控制器智能技術(shù)，使該流量傳感器重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確 的封裝技術(shù)采用直接測(cè)量，無(wú)需旁路，壓力損失大幅度減小 與智能流量計(jì)算機(jī)相連，可遠(yuǎn)傳數(shù)據(jù)，也可現(xiàn)場(chǎng)顯示 本傳感器有RS485通訊模塊，配合計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理 FSG 系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（ MEMS ）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)并配以多種信號(hào)輸出，通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)化管理功能。 產(chǎn)品特點(diǎn)： 傳感器靈敏度高，有小的始動(dòng)流量 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，了傳感器的高計(jì)量 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大； 傳感器的點(diǎn)穩(wěn)定度高 全量程高穩(wěn)定性 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性 低功耗 低壓損 響應(yīng)時(shí)間快 技術(shù)參數(shù)
外形圖 （ FSG4003 ） （ FSG4008 ） 
輸出引線定義
通訊方式 本傳感器通訊方式為 RS232 。 波特率 38400; 數(shù)據(jù)位 8; 停止位 1; 校驗(yàn)位 / 流控制 無(wú)。 按以下步驟讀取數(shù)字信息： a ）通過(guò) RS232 向傳感器送 0x9d （ 并取得返回信號(hào) 0x9d ）； b ）通過(guò) RS232 向傳感器送 0x54 （并取得返回信號(hào) 0x54 ）； c ）流量計(jì)進(jìn)入操作模式， RS232 將每隔一秒輸出一組數(shù)據(jù)： V=vvvv\nF=ffffff\n A=0\n;\n V=vvvv 電壓內(nèi)碼值； F=ffffff 瞬時(shí)流量（相當(dāng)于 fff.fffNL/min 或者 SCCM ） A=0 總流量（本傳感器未提供總流量，故 A=0 ）。 按以下步驟停止數(shù)據(jù)通訊： a ）通過(guò) RS232 向傳感器送 0x9d （并取得返回信號(hào) 0x9d ）； b ）通過(guò) RS232 向傳感器送 0x00 （并取得返回信號(hào) 0x00 ）； c ）流量計(jì)進(jìn)入用戶模式， RS232 數(shù)據(jù)通訊停止。 安裝使用 1.打開產(chǎn)品包裝盒，包裝盒內(nèi)應(yīng)包含下列物品： a ）氣體質(zhì)量流量傳感器一只 b ）連接電纜一根 ( 或與傳感器一體 ) c ） 用戶手冊(cè)一份 d ）合格證一份 2. 確認(rèn)傳感器機(jī)械損壞。 3. 將傳感器安裝到管道上，前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段與傳感器上的管道保持同心 , 傳感器、直管段固定。傳感器、直管段應(yīng)固定，如圖所示。
注意：安裝使用時(shí)，要傳感器前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段與傳感器上的管道保持同心 , 傳感器、直管段固定。 如果不能直管段，矽翔公司將不傳感器的。 4.將傳感器的引線按照所給定義正確連接到使用裝置上，屏蔽線接到保護(hù)地上。 5. 確認(rèn)連接正確后，接通電源。 6. 接通電源預(yù)熱 15 分鐘后測(cè)量的參數(shù)值會(huì)更高。 及維護(hù) 1. 使用 產(chǎn)品用于有害氣體或性氣體須嚴(yán)格按照產(chǎn)品使用說(shuō)明的限制。有關(guān)產(chǎn)品應(yīng)用的新信息，請(qǐng)與廠家聯(lián)系索取或訪問(wèn)公司網(wǎng)站。 強(qiáng)腐蝕性或氟化物氣體可能影響產(chǎn)品正常工作，甚至對(duì)產(chǎn)品造成毀損。 產(chǎn)品經(jīng)過(guò)密封處理并在裝箱前進(jìn)行過(guò)漏試驗(yàn)，在高壓下使用須按照產(chǎn)品使用說(shuō)明的限制，否則會(huì)導(dǎo)致泄漏及問(wèn)題。 |
