產品特點: | MY系列氬氣凈化器是用于普氬提純后可高純氬(99.9999%)而設計的,主要是為直讀光譜儀、ICP(等離子發(fā)射光譜)、質譜儀、色譜(氣相/液相)、熔煉爐吹氬系統(tǒng)、硅行業(yè)保護用氣、高純吹掃及其他行業(yè)提供高純氬氣的輸送。 |
氣體 | 純度(%) | N2 (ppm) | O2(ppm) | CO(ppm) | CO2(ppm) | CH4 (ppm) | (H2O) |
普氬 | 99.9 | <106 | <15 | <5 | <5 | <5 | -65℃ |
高純氬 | 99.9999 | ≤0.2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | -80℃ |