雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 型號(hào):TZ24-RTS-9

RT-9 型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)

量方法推廣應(yīng)用到直線四探針,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制進(jìn)行兩次電測(cè)量，把

到的在計(jì)算機(jī)中加與析，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等

因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面的位置。由于

每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測(cè)量

結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能直觀、測(cè)量取數(shù)快、高、測(cè)量范寬、

穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

RT-9 型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng) 是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)擁有友好測(cè)試界面的用戶程序。測(cè)

試程序在計(jì)算機(jī)與 RT-9 型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)，通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)兩次組合模式的測(cè)試，把到的在計(jì)

算機(jī)中加以析，然后把測(cè)試以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)到的在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把到的輸出到 Excel 中，讓用戶對(duì)進(jìn)行各種

析。

是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)擁有友好測(cè)試界面的用戶程序。測(cè)

試程序在計(jì)算機(jī)與 RT-9 型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)，通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)兩次組合模式的測(cè)試，把到的在計(jì)

算機(jī)中加以析，然后把測(cè)試以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)到的在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把到的輸出到 Excel 中，讓用戶對(duì)進(jìn)行各種

析。

技 術(shù) 指  ：

測(cè)量范

電阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可擴(kuò)展) ；

方塊電阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可擴(kuò)展) ；

電導(dǎo)率：10 -5 ～10 5 s/cm ；

電阻：10 -5 ～10 5 ? ；

可測(cè)晶片厚度 ≤3mm

可測(cè)晶片直徑

140mmX150mm(配 配 -2A 型測(cè)試臺(tái)) ；

200mmX200mm(配 配 -2B 型測(cè)試臺(tái)) ；

400mmX500mm(配 配 -2C 型測(cè)試臺(tái)) ；

恒流源

電流量程為 1μA 、10μA 、100μA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流

連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；辨力：10μV ；輸入阻抗＞1000M? ；

：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、量程自動(dòng)顯示；

四探針基本指

間距：1±0.01mm ；針間緣電阻：≥1000M? ； 機(jī)械游移率：≤0.3 ％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ；探針壓力：5 ～16 牛頓( 總力) ；

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

( 按 按 JJG508-87 進(jìn)行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字

差 整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差 ( 用硅樣片:0.01-180?.cm 測(cè)試) ≤±4 ％

度 整機(jī)測(cè)量準(zhǔn)不確定度 ≤4 ％

測(cè)試準(zhǔn)

采用雙電測(cè)測(cè)試準(zhǔn)，通過 RT-9 雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)

量并實(shí)時(shí)兩次組合模式的電壓值，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算

出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容 RT-8 四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試準(zhǔn)，

兩軟件可同時(shí)使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試，并統(tǒng)計(jì)析測(cè)試大值、

小值、平均值、大百變化、平均百變化、徑向不均勻度、并將

生成直方圖，也可把測(cè)試輸出到 Excel 中，對(duì)進(jìn)行各種析。軟

件還可自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)適合電流量程檔測(cè)試。

計(jì)算機(jī)通訊接口 并口，高速并行。

準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度：23±2 ℃；

相對(duì)濕度：≤65 ％；

無高頻干擾；

無強(qiáng)光直射；

雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 型號(hào):TZ24-RTS-9雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 型號(hào):TZ24-RTS-9