??主要特征 —— 采用L型移動(dòng)橋式，由兩到三個(gè)高等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動(dòng)橋，運(yùn)動(dòng)部件采用高硬度輕質(zhì)鋁合金材料—— X軸和Z軸均采用精加工及經(jīng)過硬質(zhì)陽化處理的擠壓輕質(zhì)鋁合金—— Y軸采用一體化槽型花崗巖導(dǎo)軌—— Z軸采用可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能，Z軸性—— 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服測(cè)速機(jī)組和單級(jí)多楔帶減速系統(tǒng)—— 三軸采用預(yù)載荷空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平衡，導(dǎo)軌受磨損—— 采用HEXAGON高分辨率金質(zhì)光柵，分辨率0.039vm—— 測(cè)量機(jī)三軸及工件都配置溫度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)控溫度變化
機(jī)器型號(hào) | Function plus 10158 | Function plus 10218 | Function plus 10308 | Function plus 122110 | Function plus 123010 | Function plus 152110 | Function plus 153010 | Function plus 152112 | Function plus 153012 | |
| 行程（mm） | X | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Y | 1500 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | |
| Z | 800 | 800 | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | |
| 測(cè)量空間（mm） | Dx | 1364 | 1364 | 1364 | 1564 | 1564 | 1864 | 1864 | 1864 | 1864 |
| Dz | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | |
| Dz1 | 951 | 951 | 951 | 1151 | 1151 | 1151 | 1151 | 1351 | 1351 | |
| 平臺(tái)（mm） | Ph | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
| Py | 2000 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | |
| 支撐（mm） | Sy1 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
| Sy2 | 1200 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | |
| Sx | 1300 | 1300 | 1300 | 1500 | 1500 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | |
| 外形尺寸（mm） | L | 2726 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 |
| W | 1780 | 1780 | 1780 | 1980 | 1980 | 2280 | 2280 | 2280 | 2280 | |
| H | 3422 | 3422 | 3422 | 3622 | 3622 | 3622 | 3622 | 3822 | 3822 | |
| 承重（kg） | 1300 | 1800 | 2000 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | |
| 機(jī)器重量（kg） | 5500 | 6500 | 9500 | 7600 | 11000 | 8600 | 13000 | 8800 | 13200 | |
| MPEe(μm) | 3.1+L/300 | 3.5+L/300 | 4.0+L/300 | 5.0+L/300 | ||||||
| MPEp(μm) | 3.3 | 3.7 | 4.2 | 5.2 | ||||||
| 光柵尺分辨率(μm) | 0.078 | |||||||||
| 空間移動(dòng)速度(mm/s) | 433 | |||||||||
| 空間移動(dòng)加速度(mm/s2) | 1039 | |||||||||
| 流量/供氣壓力 | 2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa | |||||||||
