TJX-3000型大平臺(tái)金相檢測(cè)顯微鏡適用于對(duì)微細(xì)物體、IT晶園的顯微觀察。本儀器配置有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡。圖象清晰,襯度好。配置偏光裝置,適用于礦物、金屬、精密工程學(xué)及IT、晶園等各微電子行業(yè)
技術(shù)參數(shù):
1.機(jī)械筒長(zhǎng) 160mm
2.物鏡
放大倍數(shù)數(shù)值孔徑工作距離介質(zhì)使用范圍
4×0.10 17.912 干明場(chǎng)
10×0.25 6.544 干明場(chǎng)
PC20×0.40 1.05 干明場(chǎng)
P0×0.65 0.736 干明場(chǎng)
3.目鏡
放大倍數(shù)焦距視場(chǎng)直徑備注
10×25Φ18
12.5×25Φ14 選配
4.物鏡:
放大倍數(shù),400倍至500倍
5.載物臺(tái)面積 400mmX300mm
縱向移動(dòng)范圍---254mm
橫向移動(dòng)范圍---254mm
6.調(diào)焦機(jī)構(gòu):同軸粗微調(diào)機(jī)構(gòu),調(diào)焦范圍36mm.格值0.002mm
7.光源:內(nèi)藏式連續(xù)調(diào)光電源,鎢鹵素?zé)?2V/50W.
8.物鏡轉(zhuǎn)換器四孔式(三孔式)
9.目鏡筒三目鏡(雙目鏡)
10.儀器功能,明場(chǎng),偏光,攝影等
11.儀器重量:17公斤
12.儀器體積:長(zhǎng)560mm,寬530mm,高400mm