產(chǎn)品型號(hào) | D07-19BM |
產(chǎn)品類型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
重復(fù) | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | - 無 - |
溫度系數(shù) | - 無 - |
點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | ＜0.02 MPa |
漏率 | 1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He） |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
電磁干擾 | CE |
重量 | 0.7Kg |
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
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