SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器

概述

   SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器，校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償微差壓雙列直插壓力傳感器。

   SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩(wěn)定壓阻式壓力傳感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進(jìn)行度校正、點(diǎn)溫度補(bǔ)償和靈敏度溫度補(bǔ)償。SM5651只能用恒流驅(qū)動(dòng)，一個(gè)額外的電阻修剪正?；耐獠坎罘址糯笃鞯妮敵鎏峁┝丝缍刃?zhǔn)。而SM5652在恒壓激勵(lì)下對(duì)輸出信號(hào)很容易進(jìn)行放大。

   SM5651芯片有額外的增益電阻，采用恒流激勵(lì)，SM5652采用恒壓激勵(lì)。

 特點(diǎn)：

 微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi 

 恒流或恒壓激勵(lì) 

 溫度補(bǔ)償范圍寬（0-60℃） 

 跨度校準(zhǔn)正±2% 

 點(diǎn)校準(zhǔn)及溫度補(bǔ)償 

 、穩(wěn)定的硅芯片封裝 

 表壓和差壓配置 

 應(yīng)用：

 設(shè)備 

 呼吸機(jī)、麻醉機(jī)和監(jiān)護(hù)儀 

 HVAC（空調(diào)） 

 水平監(jiān)測(cè) 

 流量測(cè)量 

 工業(yè)控制 

 微差壓變送器 

性能參數(shù)：

  測(cè)試的條件是：SM5651激勵(lì)電流源為1.5mA,室溫為25℃；SM5652激勵(lì)電壓源為10.00VDC,室溫為25℃；除非別有規(guī)定。

備注：

  1、正壓指的是從晶圓底部進(jìn)入；增益，在工廠校準(zhǔn)使用的是負(fù)壓

  2、對(duì)于SM5652，量程為0.15psi的量程輸出是23.75mV（小）至26.25（）

  3、測(cè)量溫度過22-58℃對(duì)于量程為0.15psi，滿量程溫度系數(shù)為±2%FS；點(diǎn)溫度系數(shù)為±2%FS；對(duì)于量程為0.3psi，滿量程溫度系數(shù)為±0.75%FS；

  4、對(duì)于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對(duì)于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS；

  5、直線擬合，是從晶圓頂部測(cè)量的，對(duì)于量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對(duì)于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS；

  6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對(duì)于量程為0.15psi，靈敏度匹配性為±5.0%FS；

電氣連接