隨著多晶硅,硅片,大陽(yáng)能電池板工藝的不斷發(fā)展與,光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)硅片質(zhì)量的檢測(cè)要求也越來(lái)越高。由于國(guó)外的光學(xué)檢測(cè)太貴,對(duì)非原材料生產(chǎn)廠家是一筆很大的支出,而又需要對(duì)進(jìn)的硅片進(jìn)行檢測(cè),針對(duì)這種情況,上海長(zhǎng)方光學(xué)儀器廠開(kāi)發(fā)了針硅片檢測(cè)的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析。(例如:上海長(zhǎng)方生產(chǎn)的硅片檢測(cè)顯微鏡:CGM-600E)
例如:硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中不可少的檢測(cè)儀器之一。CGM-600E大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。