特點：
本系列平臺是在HGPT-B型光學隔振平臺的基礎(chǔ)上增加自動平衡功能，采用空氣伺服系統(tǒng)，自動調(diào)整水平，臺面的高度由空氣調(diào)節(jié)閥在桌面運動的激勵下維持和控制，把系統(tǒng)對微振的響應(yīng)反饋到系統(tǒng)中，改變隔振特性，當負載沿工作表面移動或發(fā)生突然變化時能夠使臺面自動維持水平。初始的平衡狀態(tài)，光學隔振平臺的隔振效果
主要參數(shù)：
平面不大于0.05mm/m2
表面粗糙度小于0.8um
固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz
振幅不大于1.2um
重復定位±0.05mm
本系列平臺是在HGPT-B型光學隔振平臺的基礎(chǔ)上增加自動平衡功能，采用空氣伺服系統(tǒng)，自動調(diào)整水平，臺面的高度由空氣調(diào)節(jié)閥在桌面運動的激勵下維持和控制，把系統(tǒng)對微振的響應(yīng)反饋到系統(tǒng)中，改變隔振特性，當負載沿工作表面移動或發(fā)生突然變化時能夠使臺面自動維持水平。初始的平衡狀態(tài)，光學隔振平臺的隔振效果
主要參數(shù)：
平面不大于0.05mm/m2
表面粗糙度小于0.8um
固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz
振幅不大于1.2um
重復定位±0.05mm
