特點(diǎn)
• 大幅度了驅(qū)動(dòng)速度(X 軸：80mm/s, Z2
軸：20mm/s)，近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
• 為了在時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)
格，三豐公司采用了具有的耐摩擦
性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
• 大量的外周設(shè)備選件支持CNC 模式，從
而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC 測(cè)量。
• 驅(qū)動(dòng)裝置(X 軸) 和立柱(Z2 軸) 中集成了高
線性編碼器(Z2 軸為ABS 型)，從而提
高了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不
易定位工件的重復(fù)。
• X 軸：&plun;(0.8+0.01L)µm,
Z1 軸：&plun;(0.8+|0.5H|/25)µm*，針對(duì)高精
度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度，H 為測(cè)量高度(mm)
• CV-4100 系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了激光全息
測(cè)微計(jì)檢測(cè)器，在Z 軸(垂直方向) 的窄／
寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供卓越的和分辨
率。

技術(shù)參數(shù)
X 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05µm
檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 80mm/s 和手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向: 向前／向后
直線度: 0.8µm/100mm, 2µm/200mm
* 當(dāng)X 軸在水平方向上
指示: &plun;(1+0.01L)µm (CV-3100S4, H4, W4)
(20° C 時(shí)) &plun;(0.8+0.01L)µm (CV-4100S4, H4, W4)
&plun;(1+0.02L)µm (CV-3100S8, H8, W8)
&plun;(0.8+0.02L)µm (CV-4100S8, H8, W8)
* L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾斜范圍: &plun;45°

Z2 軸(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1µm
檢測(cè)方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s 和手動(dòng)

Z1 軸 (檢測(cè)器)
測(cè)量范圍: &plun;25mm
分辨率: 0.2µm (CV-3100), 0.05µm (CV-4100)
檢測(cè)方法: 線性編碼器(CV-3100),
激光全息測(cè)微計(jì) (CV-4100)
指示: &plun;(2+I4HI/100)µm (CV-3100)
(20° C 時(shí)) &plun;(0.8+I2HI/100)µm (CV-4100)
*H 為水平位置上的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針方向: 向上／向下
測(cè)力: 30mN
跟蹤角度: 向上：77°、向下： 87°
(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖 半徑: 25µm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(W x H):750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
重量
主機(jī): 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
　控制裝置:14kg
　遙控箱: 0.9kg
電源: 100 – 240VAC &plun;10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主機(jī))