光學(xué)隔振平臺
隔振性能,用于存在高動態(tài)力,進行靈敏度測量和檢驗的設(shè)備,如平版印刷設(shè)備、激光設(shè)備、高分辨率電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備。
POT型光學(xué)平臺技術(shù)參數(shù):
★ 臺面采用濟南青OO級
★ 平面度≤0.05㎜/㎡
★ 表面粗糙度不大于0.8μm
★ 固有頻率10Hz
★ 采用(四)支撐基礎(chǔ),表面噴汽車油漆并有連接桿
★ 調(diào)平方式:機械
ZDT型自動平衡精密隔振光學(xué)平臺技術(shù)參數(shù):
★ 臺面采用濟南青OO級
★ 平臺氣動元件都采用德國FTO產(chǎn)品
★ 平面度≤0.05㎜/㎡
★ 表面粗糙度不大于0.8μm
★ 固有頻率1~2Hz
★ 采用(四)支撐基礎(chǔ),表面噴汽車油漆并有連接桿
★ 振幅小于1.0μm
★ 調(diào)平方式:自動
★ 充氣方式:自動