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真空退火爐
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真空退火爐

產品價格:
電議
產品型號:
RTP-100
供應商等級:
企業(yè)未認證
經營模式:
進出口貿易商
企業(yè)名稱:
武漢邁可諾科技有限公司
所屬地區(qū):
發(fā)布時間:
2013/8/7 14:57:15

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葉盛先生(聯(lián)系我時,請說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的,謝謝)

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武漢邁可諾科技有限公司

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經營模式:進出口貿易商

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  • 品牌/商標:MYCRO
  • 企業(yè)類型:貿易商
  • 新舊程度:全新
  • 原產地:美國
RTP系列的快速退火爐由德國Unitemp公司開發(fā)制造,德國工藝保障。
溫度均勻度≤1%??梢蕴幚淼某叽缈梢赃_到300mm,厚度可以支持到11mm,溫度可以達到1200攝氏度,處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行,多可知支持4路進氣,可以用到的氣體包含N2,O2,N2H2ArH2。
基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序,每套程序可以支持高達100個步驟的設定,帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件,與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件,可以通過外帶電腦(電腦不包含在報價中)可以非常方便地實現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄
該系列的退火爐主要包含如下三款型號:
1) RTP-100
基片從前面載入/取出;
可支持的尺寸:直徑為100mmWafer或者100mm×100mm的基片;
溫度高達1200攝氏度;
升溫速率為150K/sec;
降溫速率分段控制:從1200℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃降溫速率控制在30K/sec;
2) RTP-150
基片從前面載入/取出;
可支持的尺寸:直徑為150mmWafer或者150mm×150mm的基片;
溫度高達1000攝氏度;
升溫速率為75K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃降溫速率控制在30K/sec;
3VPO-1000-300
也可以用于污染物處理;
基片從上面載入/取出;
可支持的尺寸:直徑為300mmWafer或者300mm×300mm的基片;
溫度高達1000攝氏度;
升溫速率為40K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃降溫速率控制在30K/sec;
需要更詳細的平板硫化機的資料咨詢,
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聯(lián)系方式

武漢邁可諾科技有限公司

聯(lián)系人:
葉盛先生
類型:
進出口貿易商
地址:
北京海淀區(qū)知春路紫金數(shù)碼園3號0902室

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