- 品牌/商標:MYCRO
- 企業(yè)類型:貿易商
- 新舊程度:全新
- 原產地:美國
溫度均勻度≤1%??梢蕴幚淼某叽缈梢赃_到300mm,厚度可以支持到11mm,溫度可以達到1200攝氏度,處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行,多可知支持4路進氣,可以用到的氣體包含N2,O2,N2H2,Ar和H2。
基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序,每套程序可以支持高達100個步驟的設定,帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件,與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件,可以通過外帶電腦(電腦不包含在報價中)可以非常方便地實現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄
該系列的退火爐主要包含如下三款型號:
1) RTP-100
基片從前面載入/取出;
可支持的尺寸:直徑為100mm的Wafer或者100mm×100mm的基片;
溫度高達1200攝氏度;
升溫速率為150K/sec;
降溫速率分段控制:從1200℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃降溫速率控制在30K/sec;
2) RTP-150
基片從前面載入/取出;
可支持的尺寸:直徑為150mm的Wafer或者150mm×150mm的基片;
溫度高達1000攝氏度;
升溫速率為75K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃降溫速率控制在30K/sec;
3)VPO-1000-300
也可以用于污染物處理;
基片從上面載入/取出;
可支持的尺寸:直徑為300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片;
溫度高達1000攝氏度;
升溫速率為40K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃降溫速率控制在30K/sec;
需要更詳細的平板硫化機的資料咨詢,
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