從能量轉(zhuǎn)換的角度而言,電容傳感器為無源變換器,需要將所測的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進行放大和處理。力學(xué)量中的線位移、角位移、間隔、距離、厚度、拉伸、壓縮、膨脹、變形等無不與長度有著密切聯(lián)系的量;這些量又都是通過長度或者長度比值進行測量的量,而其測量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,在有些條件下,這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢,而且變化范圍極小,如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率,其他傳感器很難做到實現(xiàn)高分辨率要求,在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳感器的分辨率僅達到1~5 μm數(shù)量級;而有一種電容測微儀,他的分辨率為0.1nm,比前者提高了四個數(shù)量級,量程為1250 μm,而且為零磁滯,因此他在精密小位移測量中受到青睞。
ZCS1100單極電容傳感器:ZCS1100是一個單一的通道,高性能線性位移測量系統(tǒng),創(chuàng)新的電容傳感器測量技術(shù),提供了納米測量能力,成本低,適合測量任何導(dǎo)電目標(biāo)。
應(yīng)用領(lǐng)域
壓電微位移、振動臺,電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測量等。
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