- 企業(yè)類型:制造商
XL-80激光干涉儀系統(tǒng)主要規(guī)格
系統(tǒng)性能 | ||
線性測(cè)量 | ±0.5ppm | |
激光穩(wěn)頻 | ±0.05ppm | |
分辨率 | 1nm | |
移動(dòng)速度 | 4m/s | |
動(dòng)態(tài)采集頻率 | 10Hz-50kHz | |
預(yù)熱時(shí)間 | <6分鐘 | |
環(huán)境溫度 | 0℃-40℃ | |
存儲(chǔ)溫度范圍 | -25℃-70℃ | |
環(huán)境傳感器 | ||
| 范圍 | |
材料溫度 | 0℃-55℃ | ±0.1℃ |
空氣溫度 | 0℃-40℃ | ±0.2℃ |
空氣壓力 | 650-1150mbar | ±mbar |
相對(duì)濕度(%) | 0-95 | |