DSN系列氣體流量控制器/質(zhì)量流量控制器特性：
產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器(MFC/MFM)
氣體流量控制器標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM；
0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
氣體流量控制器準(zhǔn)：±1％F.S； 重復(fù)：±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
氣體流量控制器線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
氣體流量控制器耐壓：3，10MPa； 工作環(huán)境溫度：5～45℃
氣體流量控制器輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00V
氣體流量控制器電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)
氣體流量控制器電連接器：D14pin
氣體流量控制器外形尺寸：130*28*121mm
氣體流量控制器重量：約1.0kg
氣體流量控制器接口尺寸：Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
公司氣體流量控制器介紹：
1.氣體流量控制器/DSN-B型
MFM/MFC
特性：DSN-B型
MFC/MFM
(氣體-流量范圍30-200SLPM)
本氣體流量控制器采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC氣體流量控制器具有更優(yōu)越的性能優(yōu)勢：
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性。
2.高精密的控制機(jī)構(gòu)。
3.高速響應(yīng) MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.長壽命（正常使用可達(dá)十年以上）。
5.氣體流量控制器采用微小尺寸的傳感器，消除了“傳感器”本身熱效應(yīng)對(duì)層流的破壞，“零點(diǎn)漂移”小于1%。
6.氣體流量控制器可自行清除工作過程中的表面污物（注：此項(xiàng)操作須在生產(chǎn)廠家進(jìn)行）。
7.氣體流量控制器適應(yīng)于一切氣體（包括腐蝕性氣）。
8.氣體流量控制器采用一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)越的抗電磁干擾性能。
2.D-600MD數(shù)字型質(zhì)量流量計(jì)
特性：D-600MD 氣體流量控制器產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；一體顯示，也可以直接連電腦顯示；數(shù)字，
模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入 ：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
可選內(nèi)部物理量（0~5VDC或4~20mA 狀態(tài)下的% 、滿量程）輸入
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出 ： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)
D-600MD數(shù)字型質(zhì)量流量控制計(jì)主要指標(biāo):
氣體流量控制器流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
氣體流量控制器準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)： ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
氣體流量控制器工作壓差范圍：(0.05~0.3)MPa
耐壓： 10Mpa
氣體流量控制器工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485
； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
氣體流量控制器電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″
3.D-300C數(shù)字型氣體流量控制器
氣體流量控制器特性：D-300C 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；數(shù)字,模擬輸入輸出；可以直接連電腦顯示，
也可以連二次儀表顯示；D-300C氣體流量控制器具有多氣體多量程，高，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入 ：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出 ： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)D-300C數(shù)字型質(zhì)量流量控制器主要指標(biāo):
D-300C氣體流量控制器流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
D-300C氣體流量控制器準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)： ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
D-300C氣體流量控制器工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
耐壓： 10Mpa
D-300C氣體流量控制器工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485
； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
D-300C氣體流量控制器電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″
4.D-300M數(shù)字型氣體流量控制器
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器特性：產(chǎn)品詳細(xì)描述:
D-300M 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；數(shù)字，模擬輸入輸出；可以直接連電腦顯示，
也可以連二次儀表顯示；具有多氣體多量程，高，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入 ：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出 ： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器主要指標(biāo):
流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)： ±0.2%F.S.
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器耐壓： 10Mpa
工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485
； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″
DSN氣體流量控制器系列產(chǎn)品具有高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等技術(shù)特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。也可作為氣體流量控制器使用。配合DSN2000流量顯示儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行測量和控制。
東莞市德欣電子是從事氣體流量控制器（MFM）、DSN系列氣體流量控制器、質(zhì)量流量控制器（MFC）及流量顯示積算儀的研發(fā)設(shè)計(jì)、制造、銷售和售后服務(wù)為一體的新型企業(yè)， 公司主導(dǎo)產(chǎn)品有DSN系列質(zhì)量流量計(jì)、熱式氣體流量控制器、DSN系列質(zhì)量流量顯示儀等產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空電子、顯示器件、生物技術(shù)等行業(yè)，公司秉承“顧客至上，銳意進(jìn)取”的經(jīng)營理念，堅(jiān)持“客戶”的原則為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。歡迎惠顧！
產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器(MFC/MFM)
氣體流量控制器標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM；
0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
氣體流量控制器準(zhǔn)：±1％F.S； 重復(fù)：±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
氣體流量控制器線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
氣體流量控制器耐壓：3，10MPa； 工作環(huán)境溫度：5～45℃
氣體流量控制器輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00V
氣體流量控制器電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)
氣體流量控制器電連接器：D14pin
氣體流量控制器外形尺寸：130*28*121mm
氣體流量控制器重量：約1.0kg
氣體流量控制器接口尺寸：Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
公司氣體流量控制器介紹：
1.氣體流量控制器/DSN-B型
MFM/MFC
特性：DSN-B型
MFC/MFM
(氣體-流量范圍30-200SLPM)
本氣體流量控制器采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC氣體流量控制器具有更優(yōu)越的性能優(yōu)勢：
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性。
2.高精密的控制機(jī)構(gòu)。
3.高速響應(yīng) MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.長壽命（正常使用可達(dá)十年以上）。
5.氣體流量控制器采用微小尺寸的傳感器，消除了“傳感器”本身熱效應(yīng)對(duì)層流的破壞，“零點(diǎn)漂移”小于1%。
6.氣體流量控制器可自行清除工作過程中的表面污物（注：此項(xiàng)操作須在生產(chǎn)廠家進(jìn)行）。
7.氣體流量控制器適應(yīng)于一切氣體（包括腐蝕性氣）。
8.氣體流量控制器采用一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)越的抗電磁干擾性能。
2.D-600MD數(shù)字型質(zhì)量流量計(jì)
特性：D-600MD 氣體流量控制器產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；一體顯示，也可以直接連電腦顯示；數(shù)字，
模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入 ：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
可選內(nèi)部物理量（0~5VDC或4~20mA 狀態(tài)下的% 、滿量程）輸入
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出 ： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)
D-600MD數(shù)字型質(zhì)量流量控制計(jì)主要指標(biāo):
氣體流量控制器流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
氣體流量控制器準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)： ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
氣體流量控制器工作壓差范圍：(0.05~0.3)MPa
耐壓： 10Mpa
氣體流量控制器工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485
； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
氣體流量控制器電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″
3.D-300C數(shù)字型氣體流量控制器
氣體流量控制器特性：D-300C 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；數(shù)字,模擬輸入輸出；可以直接連電腦顯示，
也可以連二次儀表顯示；D-300C氣體流量控制器具有多氣體多量程，高，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入 ：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出 ： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)D-300C數(shù)字型質(zhì)量流量控制器主要指標(biāo):
D-300C氣體流量控制器流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
D-300C氣體流量控制器準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)： ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
D-300C氣體流量控制器工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
耐壓： 10Mpa
D-300C氣體流量控制器工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485
； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
D-300C氣體流量控制器電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″
4.D-300M數(shù)字型氣體流量控制器
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器特性：產(chǎn)品詳細(xì)描述:
D-300M 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；數(shù)字，模擬輸入輸出；可以直接連電腦顯示，
也可以連二次儀表顯示；具有多氣體多量程，高，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入 ：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出 ： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器主要指標(biāo):
流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)： ±0.2%F.S.
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器耐壓： 10Mpa
工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485
； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
D-300M數(shù)字型氣體流量控制器電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″
DSN氣體流量控制器系列產(chǎn)品具有高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等技術(shù)特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。也可作為氣體流量控制器使用。配合DSN2000流量顯示儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行測量和控制。
東莞市德欣電子是從事氣體流量控制器（MFM）、DSN系列氣體流量控制器、質(zhì)量流量控制器（MFC）及流量顯示積算儀的研發(fā)設(shè)計(jì)、制造、銷售和售后服務(wù)為一體的新型企業(yè)， 公司主導(dǎo)產(chǎn)品有DSN系列質(zhì)量流量計(jì)、熱式氣體流量控制器、DSN系列質(zhì)量流量顯示儀等產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空電子、顯示器件、生物技術(shù)等行業(yè)，公司秉承“顧客至上，銳意進(jìn)取”的經(jīng)營理念，堅(jiān)持“客戶”的原則為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。歡迎惠顧！
