IN-2000型雙光路高紫外臭氧分析儀是同類產(chǎn)品中的高度高品質(zhì)臭氧分析儀的代表，它目前主要用于半導(dǎo)體、芯片、CVD，ALD等領(lǐng)域。由于它優(yōu)異的品質(zhì)，使得它成為那些需要長(zhǎng)時(shí)期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測(cè)量和工藝控制的客戶的正確選擇，長(zhǎng)期使用的所有者成本低。是監(jiān)測(cè)氣體發(fā)生設(shè)備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、職業(yè)衛(wèi)生和科學(xué)。

• 微機(jī)控制 
• 紫外吸收技術(shù)
• 可訂購多達(dá)5個(gè)取樣點(diǎn)    
• 壓力和溫度補(bǔ)償能力
• 內(nèi)置現(xiàn)場(chǎng)編程，可編次序    
• 定光學(xué)系統(tǒng)
• 每通道4-20mA隔離輸出          
• 每通道雙報(bào)警

•  取樣點(diǎn)數(shù)量：1，3或5個(gè)內(nèi)置式多通道閥
•  量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選
•  等級(jí)：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)
•  分辨率高：0.001ppm(0-1ppm)，0.01ppm(0-10ppm)
•  流量：內(nèi)置泵，流量可調(diào)（不大于2L/m）
•  輸出：模擬4～20mA，以及數(shù)字輸出
•  CE；內(nèi)部自檢；RS-232通訊接口