產(chǎn)品型號：

MFC800

測量范圍：

0-1500 m3/h

MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器，為工業(yè)和科學(xué)研究領(lǐng)域長期可靠工作而設(shè)計。利用熱擴(kuò)散原理及PID控制原理，測量和控制小管道的氣體質(zhì)量流量輸出，不需要溫度和壓力補(bǔ)償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應(yīng)用。 產(chǎn)品特點(diǎn) ☆用于多種氣體質(zhì)量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等 ☆測量范圍：從0-5sccm 至 0-1500slm ☆：1.0%F.S. ☆量程比：小100:1 ☆重復(fù)性：0.25% ☆響應(yīng)時間：1.0S ☆過程溫度：0-50℃ ☆過程壓力：0-8MPa ☆供電：24VDC ☆輸出：0-5V,4-20mA,RS232 ☆管道材質(zhì)：316L ☆連接標(biāo)準(zhǔn)：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸 產(chǎn)品應(yīng)用 l         實(shí)驗(yàn)室，泄漏檢測 l         醫(yī)學(xué)，氣體合成 l         科學(xué)研究，過程控制 l         制藥，半導(dǎo)體工業(yè)